PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Nanostrukturen und dünne Schichten |
| Autor(en): |
A. Schlachetzki und K. H. (Hrsg.) |
| Jahr: |
1993 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-16 |
| Seite(n): |
188 , 118 Abbildungen, 5 Tabellen |
| Verschiedenes: |
DM 41,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-413-2 |
| Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
| Zusammenfassung: |
Ein Überblick über den aktuellen Stand von Techniken und Verfahren zur Erzeugung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie über Techniken zur Abscheidung und Charakterisierung dünner Schichten, speziell auf Silizium. |
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