PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestim-mung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer |
| Autor(en): |
X. Zhao |
| Jahr: |
1995 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-20 |
| Seite(n): |
190 , 110 Abbildungen, 9 Tabellen |
| Verschiedenes: |
DM 42,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-663-1 |
| Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
| Zusammenfassung: |
Als wichtiger Schritt für die Anwendung des SXM in der Nano-metrologie wurde ein Verfahren zur Positionierung der Spitze eines STM mit Hilfe kapazitiver Aufnehmer entwickelt und untersucht. Mathematische Modelle für die Berechnung des Plattenkondensators mit Schutzringelektrode als Wegaufnehmer wurden diskutiert und verbessert. Für universelle Anwendungen wurde auch eine analoge Kompensation der Linearitäts-abweichung entwickelt. |
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