PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Proceedings of the International Seminar on Quantitative Microscopy |
| Autor(en): |
K. Hasche, M. W.0e und W. G. (Eds.) |
| Jahr: |
1995 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-21 |
| Seite(n): |
152 , 155 Abbildungen, 7 Tabellen |
| Verschiedenes: |
DM 38,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-921-5 |
| Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
| Zusammenfassung: |
Die Beiträge befassen sich mit meßtechnischen Aspekten lichtoptischer, elektronenoptischer und rastermikroskopischer Verfahren zur Messung der Geometrie von Mikrostrukturen. Dabei wurden sowohl instrumentelle Aspekte betrachtet als auch Kalibrierung und weitergehende Anwendungen. Der Schwerpunkt liegt auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie. |
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