PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Vergleichende Untersuchungen zur meßtechnischen Leistungsfähigkeit von Laserinterferometern und inkrementellen Maßstabmeßsystemen |
| Autor(en): |
J. Flügge |
| Jahr: |
1996 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-23 |
| Seite(n): |
118 |
| Verschiedenes: |
DM 35,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89429-683-6 |
| Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
| Zusammenfassung: |
Als Referenz für Vergleichsmessungen bei variierenden Umgebungsbedingungen wurde ein Interferenzkomparator aufgebaut, bei dem der gesamte Interferometerstrahlengang im Vakuum angeordnet ist. Eine weitere Meßanordnung mit einem kapaziti-ven Meßsystem als Referenz wurde zur Untersuchung von In-terpolationsabweichungen eingesetzt. Um die Temperaturvertei-lung während der Vergleichsmessungen bestimmen zu können, wurde ein präzises Mehrkanal-Temperaturmeßsystem für Pt 100 Sensoren entwickelt. |
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