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Symbolbild: "Wissenschaftlich-technische Publikationen"

PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

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Bericht

Titel: Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken
Autor(en): A. Siebert
Jahr: 1996
Dokument Nummer: PTB-F-24
Seite(n): 114 , 1 Abbildung, 81 Tabellen
Verschiedenes: DM 35,00
ISBN: ISBN 3-89429-741-7
Schlüsselwörter: PTB-F-
Zusammenfassung: Es sind die Verfahren 1.) Fehlervermeidung durch Kalibrierung, Führungskorrektur und Fehlerkompensation sowie durch 2.) Fehlerkorrektur mittels Fehlergleichungen und Messen unter veränderten Bedingungen verschiedene Ansätze theoretisch und praktisch an einem Versuchsaufbau überprüft worden.

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