PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
Titel: |
Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken |
Autor(en): |
A. Siebert |
Jahr: |
1996 |
Dokument Nummer: |
PTB-F-24 |
Seite(n): |
114 , 1 Abbildung, 81 Tabellen |
Verschiedenes: |
DM 35,00 |
ISBN: |
ISBN 3-89429-741-7 |
Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
Zusammenfassung: |
Es sind die Verfahren 1.) Fehlervermeidung durch Kalibrierung, Führungskorrektur und Fehlerkompensation sowie durch 2.) Fehlerkorrektur mittels Fehlergleichungen und Messen unter veränderten Bedingungen verschiedene Ansätze theoretisch und praktisch an einem Versuchsaufbau überprüft worden. |
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