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Symbolbild: "Wissenschaftlich-technische Publikationen"

PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

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Bericht

Titel: Nanostrukturierung mit dem Rastertunnelmikroskop
Autor(en): R. Köning
Jahr: 1997
Dokument Nummer: PTB-F-26
Seite(n): 114 , 54 Abbildungen, 1 Tabelle
Verschiedenes: DM 35,00
ISBN: ISBN 3-89429-829-4
Schlüsselwörter: PTB-F-
Zusammenfassung: Nach einer Vorstellung der bisherigen Ergebnisse aus Nano-strukturierungsexperimenten erfolgt eine Vorauswahl aus den bekannten Strukturierungsverfahren. Danach folgt eine Darstellung der theoretischen Grundlagen des Rastertunnelmikroskops und der Abscheidungsmechanismen und der Ergebnisse der Untersuchungen nach dem ausgewählten Impulsverfahren.

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