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Symbolbild: "Wissenschaftlich-technische Publikationen"

PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

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Bericht

Titel: Nahfeldmikroskopischer Sensor mit interner Signalwandlung
Autor(en): H.-U. Danzebrink
Jahr: 1997
Dokument Nummer: PTB-F-27
Seite(n): 112 , 60 Abbildungen, 16 Tabellen
Verschiedenes: DM 34,50
ISBN: ISBN 3-89429-830-8
Schlüsselwörter: PTB-F-
Zusammenfassung: Das Grundkonzept der optoelektronischen Nahfeldsonden wird vorgestellt. Es werden die Herstellung und Charakterisierung dieser Sonden sowie die grundlegenden Untersuchungen der Kantendetektoren, die dem Nachweis der hohen lateralen Auflösung dieser Sonden dienen, als auch die Entwicklung der Cantilever-Detektoren beschrieben.

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