PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
Titel: |
Proceedings of the 2nd Seminar on Quantitative Microscopy: Geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near field methods |
Autor(en): |
K. Hasche, W. Mirandé und W. G. (Eds.) |
Jahr: |
1997 |
Dokument Nummer: |
PTB-F-30 |
Seite(n): |
218 , 164 Abbildungen, 9 Tabellen |
Verschiedenes: |
DM 45,50 |
ISBN: |
ISBN 3-89701-082-8 |
Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
Zusammenfassung: |
Der Bericht faßt 31 Beiträge zusammen, die während des Seminars präsentiert wurden, und stellt die quantitative Erfassung der Geometrie von (Mikro-) Strukturen in den Mittelpunkt. Schwerpunkt ist der Themenbereich "Referenz-SPM, Erfassen und Berücksichtigen der Spitzenform, Spitze-Oberfläche-Wechselwirkung, Referenznormale und deren Kalibrierung sowie Kalibrierung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik." |
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