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Symbolbild: "Wissenschaftlich-technische Publikationen"

PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)

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Bericht

Titel: Proceedings of the 2nd Seminar on Quantitative Microscopy: Geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near field methods
Autor(en): K. Hasche, W. Mirandé und W. G. (Eds.)
Jahr: 1997
Dokument Nummer: PTB-F-30
Seite(n): 218 , 164 Abbildungen, 9 Tabellen
Verschiedenes: DM 45,50
ISBN: ISBN 3-89701-082-8
Schlüsselwörter: PTB-F-
Zusammenfassung: Der Bericht faßt 31 Beiträge zusammen, die während des Seminars präsentiert wurden, und stellt die quantitative Erfassung der Geometrie von (Mikro-) Strukturen in den Mittelpunkt. Schwerpunkt ist der Themenbereich "Referenz-SPM, Erfassen und Berücksichtigen der Spitzenform, Spitze-Oberfläche-Wechselwirkung, Referenznormale und deren Kalibrierung sowie Kalibrierung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik."

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