PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Nanostrukturen in Halbleitern |
| Autor(en): |
A. Schlachetzki und K. H. (Hrsg.) |
| Jahr: |
1998 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-31 |
| Seite(n): |
134 |
| Verschiedenes: |
DM 37,00 |
| ISBN: |
ISBN 3-89701-115-8 |
| Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
| Zusammenfassung: |
Hier spannt sich der Bogen von der Physik über Herstellung und Charakterisierung bis zum industriellen Einsatz von Bauelementen mit Dimensionen im nm-Bereich. Es handelt sich hierbei um ein eindrucksvolles Beispiel für die vehemente Umsetzung neuer Prinzipien in die wirtschaftliche Nutzung. |
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