PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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Bericht
| Titel: |
Proceedings of the 3rd Seminar on quantitative Microscopy Geometrical measurements in the micro- and nanometre range with far and near fields methods, November 1998 |
| Autor(en): |
H. K. von, W. Mirandé und W. G. (Eds.) |
| Jahr: |
1998 |
| Dokument Nummer: |
PTB-F-34 |
| Seite(n): |
134 Seiten |
| Verschiedenes: |
DM 37,00 |
| ISBN: |
ISBN 3-89701-280-4 |
| Schlüsselwörter: |
PTB-F- |
| Zusammenfassung: |
Der Bericht ist in die Abschnitte "Instrumentation - Calibration - Application" gegliedert. Wie auch bei den vorangegangenen Seminaren dieser Reihe liegt der Schwerpunkt der Arbeiten auf dem Gebiet der Rastersondenmikroskopie (SPM), wobei der Themenbereich Geräteentwicklung, Referenznormale und Kali-brierungen entsprechend dem Thema des Seminars besonders vielfältig behandelt wird. Daneben wird über Anwendung von SPMs in der Oberflächenmeßtechnik berichtet. |
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