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PTB-EW-7

Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen

Autor(en): S. Knappe, C. Elster und C. Aßmann
Jahr: 1995
Seite(n): 48 S., 9 Abbildungen, 5 Tabellen
Verschiedenes: DM 22,50
ISBN: ISBN 3-89429-910-X
Zusammenfassung: Bei der Produktion von Niob-Dünnfilmen wird die Qualität der Dünnschichten von einer Anzahl Prozeßparameter in unbekannter Weise beeinflußt. Es werden Methoden der Versuchsplanung vorgestellt, und es wird über die damit erworbenen Erfahrungen bei der Qualitätssteigerung von Niob-Dünnschichten berichtet. Einen Überblick über die Termini "Faktoren, Ziele und Meßgrößen" und was in diesem speziellen Fall darunter zu verstehen ist, wird verdeutlicht.

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