PTB-Berichte Elektrizität (PTB-E)
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Bericht
| Titel: |
Tunnelung von Einzelelektronen in metallischen Strukturen - Bericht über ein BMBF-Vorhaben |
| Autor(en): |
H. Scherer, T. Weimann, H. Wolf, A. B. Zorin, V. A. Krupenin und J. Niemeyer |
| Jahr: |
1998 |
| Dokument Nummer: |
PTB-E-59 |
| Seite(n): |
82 , 51 Abbildungen, 4 Tabellen |
| Verschiedenes: |
DM 29,50 |
| ISBN: |
ISBN 3-89701-209-X |
| Schlüsselwörter: |
PTB-E- |
| Zusammenfassung: |
Schwerpunkt der Arbeit war die Etablierung und Weiterentwicklung von Technologien zur Herstellung von metallischen Einzelelektronentunnel-Bauelementen unter Verwendung verschiedener Materialsysteme. Mit Hilfe von Elektronenstrahllitographie und unter Einsatz des Schrägbedampfungsverfahrens wurden unterschiedliche SET-Basisschaltungen hergestellt, die aus A1/Al2O3/Al- und Cr/Cr2O3-Tunnelelementen mit lateralen Abmessungen kleiner als 100 nm aufgebaut waren. |
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