Vakuum-Interferometer
PTBnews 3.2022
13.09.2022
Für Präzisionslängenmessungen an Objekten mit Strukturen im Nanometerbereich werden häufig Laser-Interferometer eingesetzt. Bei hohen Präzisionsanforderungen wirkt sich bereits ein minimal geänderter Brechungsindex der Luft negativ aus. Eine Messung im Vakuum würde diese Einflüsse vermeiden, ist aber nicht bei allen Messobjekten möglich. Zusammen mit dem Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme in Ilmenau wurde ein Verfahren entwickelt, das auf einer luftgelagerten Vakuum-Abdichtung beruht. Das Messobjekt kann außerhalb des Vakuums positioniert werden, und mit Ausnahme eines sehr kleinen Luftspalts verläuft der Strahlengang des Interferometers im Vakuum. (Technologieangebot 420)
Vorteile
interferometrische Vermessung nicht-vakuumtauglicher Objekte
hohe Genauigkeit
Positionsregelung frei von Vakuumkräften
Ansprechpartner Technologieangebote
Andreas Barthel,
Telefon: (0531) 592-8307,
andreas.barthel(at)ptb.de,
www.technologietransfer.ptb.de