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Vakuum-Interferometer

PTBnews 3.2022
13.09.2022
Besonders interessant für

Halbleiterlithografie

Herstellung von ultrapräzisen Messmaschinen und Komparatoren

Für Präzisionslängenmessungen an Objekten mit Strukturen im Nanometerbereich werden häufig Laser-Interferometer eingesetzt. Bei hohen Präzisionsanforderungen wirkt sich bereits ein minimal geänderter Brechungsindex der Luft negativ aus. Eine Messung im Vakuum würde diese Einflüsse vermeiden, ist aber nicht bei allen Messobjekten möglich. Zusammen mit dem Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme in Ilmenau wurde ein Verfahren entwickelt, das auf einer luftgelagerten Vakuum-Abdichtung beruht. Das Messobjekt kann außerhalb des Vakuums positioniert werden, und mit Ausnahme eines sehr kleinen Luftspalts verläuft der Strahlengang des Interferometers im Vakuum. (Technologieangebot 420)

Vorteile

interferometrische Vermessung nicht-vakuumtauglicher Objekte

hohe Genauigkeit

Positionsregelung frei von Vakuumkräften

Ansprechpartner Technologieangebote

Andreas Barthel,
Telefon: (0531) 592-8307,
Opens window for sending emailandreas.barthel(at)ptb.de,
Opens internal link in current windowwww.technologietransfer.ptb.de