Technologieangebot
Titel Monitordetektor für VUV und EUV
Erläuterung Der neuartige Detektor dient dem Strahlungsmonitoring in der EUV-Lithographie mit hoher Präzission.
Zusammenfassung Zur Bestimmung der Intensität von gepulster VUV- oder EUV-Strahlung sind folgende Verfahrensschritte vorgesehen:
- Durchstrahlung einer mit Gas bei einem definierten Druck <10-4 hPa gefüllten Wechselwirkungszone in einer definierten Strahlrichtung zur Bildung von Photoelektronen und Photoionen,
- Beschleunigung der Photoelektronen und Photoionen in einem definierten Winkel zur Strahlrichtung durch ein elektrisches Feld,
- Detektion von Ladung oder Strom der beschleunigten Photoelektronen und/oder Photoionen als Maß für die zu bestimmende Intensität der Strahlung unter Verzicht auf Ladungsvervielfachung.
Weitere Informationen patent_041_DE10244303B4 download
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Jahr 2002
Erfinder Richter, Mathias
Kroth, Udo
Gottwald, Alexander
Bobashev, Sergey
Sorokin, Andrey
Shmaenok, Leonid A.
Feldhaus, Josef
Gerth, Christopher
Tiedtke, Kai
Verlauf des Patentverfahrens DE 102 44 303.3 ; 2002-09-23
DE 102 44 303 B4 ; 2004-12-30
IPC-Code G01J001-042
G01T001-185
G03F
PTB-Zeichen 0041
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de