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Titel Sensoren in Dünnschichttechnik
Erläuterung Dünnschichtsensoren ermöglichen die hochpräzise und ortsaufgelöste Messung von diversen physikalischen Zuständen, insbesondere auch an besonders kleinen und schwer zugänglichen Stellen sowie unter rauen Umweltbedingungen; Mögliche Einsatzbereiche der Dünnschichtsensorik sind neben der Dehnungsmessung und damit der Kraftsensorik auch die Messung der Temperatur.
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Bauteils, insbesondere eines elektronischen Bauteils, mit den Schritten: elektrisches Kontaktieren eines Bauteil-Rohlings, der ein metallisches Substrat, eine auf dem metallischen Substrat aufgebrachte Isolationsschicht und eine auf der Isolationsschicht aufgebrachte elektrisch leitende Arbeitsstruktur aus einem Arbeitsstruktur-Material aufweist, und Ausheilen etwaiger Fehlstellen der Isolationsschicht durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen Substrat und Arbeitsstruktur, die so groß gewählt ist, dass das in den etwaigen Fehlstellen aufgenommene Arbeitsstruktur-Material aus den Fehlstellen entfernt wird.
Weitere Informationen one_page_info_0327 download
Jahr 2012
Erfinder Schmaljohann, Frank
Löffler, Frank
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2012 020 149.4 ; 2012-10-15
IPC-Code C23C
PTB-Zeichen 0327
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de