Technologieangebot
Titel Rotationsstitching für große Flächen
Erläuterung Die Ebenheitskalibrierung großer optischer Prüflinge wird nun präziser und einfacher. Mit relativ kleinen Interferometern können jetzt auch wesentlich größere Flächen hochgenau vermessen werden. Der Clou – einzelne Teiltopografien werden miteinander verknüpft. Ein weiterer Vorteil des neuen PTB-Konzepts: Durch die vertikale Anordnung des Prüflings wird es noch genauer, denn die störenden Schwerkrafteinflüsse entfallen.
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines Höhenprofils einer Oberseite eines Prüfkörpers mit folgenden Schritten:
a) Bestimmen eines ersten Teilhöhenprofils eines ersten Teils der Oberseite des Prüfkörpers mittels eines Interferometers, wobei sich der Prüfkörper in einer ersten Position befindet,
b) Drehen des Prüfkörpers um einen vorbestimmten Winkel α1 in eine zweite Position,
c) Bestimmen eines ersten Kippwinkels β1, um den der Prüfkörper beim Drehen in die zweite Position relativ zur ersten Position verkippt wurde,
d) Bestimmen eines zweiten Teilhöhenprofils eines zweiten Teils der Oberseite des Prüfkörpers mittels des Interferometers, wobei sich der Prüfkörper in der zweiten Position befindet,
e) Bereinigen des zweiten Teilhöhenprofils um die Verkippung um den ersten Kippwinkel β1,
f) Zusammenfügen des ersten Teilhöhenprofils und des zweiten Teilhöhenprofils zu einem Höhenprofil des ersten Teils und des zweiten Teils der Oberseite des Prüfkörpers.
Weitere Informationen one_page_info_0283 download
Jahr 2010
Erfinder Reinsch, Heiko
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2010 044 318.2 ; 2010-09-03
IPC-Code G01B
PTB-Zeichen 0283
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de