Technologieangebot
Titel Profil- und Verschiebungsmesssystem
Erläuterung Kontaktlose Profilmessung mittels konfokaler Mikroskopie.
Zusammenfassung Die Erfindung hat das Ziel, eine Vorrichtung zum Messen eines Profils, das auch stark gekrümmt sein kann, und kleinster Verschiebungen zu entwickeln, bei dem das zu messende Objekt ohne Zwischenschaltung eines mit diesem Objekt gekoppelten Reflexionsspiegels direkt optisch angetastet wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung nutzt ein berührungsloses Differential-Interferometer mit einem gemeinsamen Strahlkorridor von Mess- und Referenzstrahl, um Profile und kleinste Verschiebungen zu messen. Dabei dient ein konfokales Mikroskopobjektiv dazu, den Mess- und den Referenzstrahl auf dem zu messenden Objekt zu fokussieren. Direkt vor dem Objekt wird ein Strahlteiler angeordnet.
Weitere Informationen patent_0081_DE102004013521B4 download
Jahr 2003
Erfinder Li, Zhi
Herrmann, Konrad
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2004 013 521.5 ; 2004-03-19
DE 10 2004 013 521 A1 ; 2005-10-13
DE 10 2004 013 521 B4 ; 2006-04-27
IPC-Code G01B009-002
G01B009-004
G01B011-030
G01B011-014
PTB-Zeichen 0081
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de