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Titel Ionenquelle für die Elementanalytik
Erläuterung Die Erfindung optimiert die Geometrie einer Ionenquelle für die massenspektrometische Elementanalytik.
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft eine Ionenquelle für die Glimmentladungs-Massenspektrometrie zur Elementanalytik fester Werkstoffproben mittels massenspektrometrischer Analyse des Plasmas einer Niederdruckgasentladung. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Quelle so zu gestalten, dass der Druck im Raum zwischen den Elektroden erniedrigt wird und gleichzeitig eine Erhöhung der Entladungsleistung und eine höhere mit dem Massenspektrometer gemessene Intensität der abgesputterten Teilchen bewirkt wird.
Weitere Informationen patent_0028_DE19953782C2 download
Jahr 1999
Erfinder Jährling, Reinhard
Möhler, Klaus
Kunstàr, Mihàly
Schiel, Detlef
Hoffmann, Volker
Pietzsch, Günther
Wetzig, Klaus
Verlauf des Patentverfahrens DE 199 537 82.8 ; 1999-11-04
DE 199 537 82 C2 ; 2002-03-14
IPC-Code H01J049-012
G01N027-070
PTB-Zeichen 0028
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de