Technologieangebot
Titel Flächenselektives Fizeau-Interferometer
Erläuterung Ermöglicht die Selektion von Vorder- und Rückreflex eines Testobjektes in einem Fizeau-interferometer.
Zusammenfassung Ein Verfahren zum interferometrischen Bestimmen einer optischen Weglänge zwischen der Oberfläche eines Objektes und einer Referenzfläche mit den Verfahrensschritten:
a) Richten einer kohärenten elektromagnetischen Wellenfront auf die Oberfläche des Objektes,
b) Anordnen der Referenzfläche vor der Oberfläche des Objektes derart, dass der von der Referenzfläche reflektierte Anteil mit dem von der Oberfläche des Objektes reflektierte Anteil ein lnterferenzmuster bildet,
c) Erfassen des lnterferenzmusters in einer Detektionseinrichtung, lässt sich einfach und genau ausführen, wenn:
d) die kohärente elektromagnetische Wellenfront unter einem kleinen Winkel (α) zur optischen Achse auf die Oberfläche des Objektes gerichtet wird, wobei der kleine Winkel (α) eine laterale Verschiebung s(RP) (Shear- Distanz) der von der Oberfläche des Objektes reflektierten Wellenfront zu der von der Referenzfläche reflektierten Wellenfront zur Folge hat, und dass
e) der kleine Winkel (α) und der Abstand der Referenzfläche von der Oberfläche des Objektes derart gewählt werden, dass Wellenfronten, deren Shear-Distanzen s(RP*), s(PP*) von der Shear-Distanz s(RP) verschieden sind, eine kleinere räumliche Kohärenz aufweisen als die Wellenfront, deren Shear-Distanz s(RP) beträgt. Ferner wird eine lnterferometeranordnung zum Durchfuhren des Verfahrens vorgestellt.
Weitere Informationen patent_0146_DE102007032446 A1 download
Jahr 2007
Erfinder Fütterer, Gerald
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2007 032 446.6 ; 2007-07-10
DE 10 2007 032 446 A1 ; 2009-01-15
IPC-Code G01B011-014
PTB-Zeichen 0146
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de