Technologieangebot
Titel Autokollimationsfernrohr
Erläuterung Durch die Verwendung von Phasenmasken in Autokollimationsfernrohren können um den Faktor 4 kleinere Flächen in der dimensionellen Messtechnik bestimmt werden. Einsatzbereich bei Mikrooptiken und in der Formmessung von Oberflächen (Topologien).
Zusammenfassung Es wird ein Autokollimationsfernrohr mit einem zwischen einer Objektebene und einer Detektorebene verlaufenden Strahlengang offenbart, das eine Messmarke, die mehrere Messstrukturen aufweist und in der Objektebene angeordnet ist, in die Detektorebene abgebildet. Zur Erhöhung der Messgenauigkeit weist erfindungsgemäß der Strahlengang zur Interferenz geeignetes Licht auf und die Messmarke ist derart ausgebildet, dass durch jeweils zwei benachbarte Messstrukturen durchlaufende Lichtstrahlen des Strahlenganges in ihrer Phase verschoben sind, so dass in der Detektorebene zwischen den Abbildungen der benachbarten Messstrukturen zumindest eine destruktive Interferenz erfolgt.
Weitere Informationen patent_0095_DE102005018983A1 download
patent_0095_DE102005018983 B4 download
Jahr 2005
Erfinder Fütterer, Gerald
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2005 018 983.0 ; 2005-04-22
DE 10 2005 018 983 A1 ; 2006-10-26
DE 10 2005 018 983 B4 ; 2007-01-18
IPC-Code G02B
PTB-Zeichen 0095
Verwertungsinfo Lizenz verfügbar
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de