Technologieangebot
Titel Robuster Topographiemesser
Erläuterung Plane oder nahezu plane Oberflächen können mit einer Genauigkeit von 0,001" oder 5 nm/m vermessen werden.
Zusammenfassung Eine Vorrichtung zur hochpräzisen Vermessung der Topographie einer Oberfläche, insbesondere einer großen Oberfläche, eines auf einer Basis gelagerten Körpers, mit einem über die Oberfläche verfahrbaren Messkopf mit einem oder mehreren berührungslosen Sensoren, insbesondere Abstands- oder Winkelsensoren erlaubt eine verbesserte und genauere Topographiebestimmung dadurch, dass mit dem Messkopf ein Neigungssensor zur Bestimmung der Neigung relativ zu einer festen Raumrichtung verbunden ist.
Weitere Informationen patent_0121_DE102006020384 A1 download
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Jahr 2006
Erfinder Illemann, Jens
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2006 020 384.4 ; 2006-04-28
DE 10 2006 020 384 A1; 2007-10-31
DE 10 2006 020 384 B4 ; 2008-04-10
IPC-Code G01B
PTB-Zeichen 0121
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de