Technologieangebot
Titel Fizeau-Interferometer
Erläuterung Eine neue Generation optischer Strahlteiler, eingesetzt in einem Fizeau-Interferometer, verbessert in einem einfacheren optischen Aufbau Qualitätssicherung an Oberflächen.
Zusammenfassung Bei der interferometrischen Bestimmung einer optischen Weglänge zwischen der Oberfläche (OO) eines Objekts (O) mit den Verfahrensschritten:
- Richten einer kohärenten elektromagnetischen Wellenfront auf die Oberfläche (OO) des Objekts (O),
- Anordnen der Referenzfläche (RF) vor der Oberfläche (OO) des Objekts (O) derart, dass der von der Referenzfläche reflektierte Anteil mit dem von der Oberfläche (OO) des Objekts (O) reflektierten Anteil ein Interferenzmuster bildet und
- Erfassung des Interferenzmusters in einer Detektionseinrichtung (K)
wird eine Unabhängigkeit von der Reflektivität der Oberfläche (OO) des Objekts (O) erreicht und damit eine vorherige Kalibrierung überflüssig durch die Verfahrensschritte:
- Trennen von unterschiedlich polarisierten Strahlanteilen (S1, S2) zwischen der Referenzfläche (RF) und der Oberfläche (OO) des Objekts (O) zur Unterdrückung von Vielfachreflexionen und
- Einstellen der relativen Intensitäten der Strahlanteile mittels eines einstellbaren Polarisationsfilters.
Weitere Informationen patent_0120_DE102006016053A1 download
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Jahr 2006
Erfinder Fütterer, Gerald
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2006 016 053.3; 2006-04-04
DE 10 2006 016 053 A1 ; 2007-10-18
DE 10 2006 016 053 B4 ; 2008-01-10
IPC-Code G01B
PTB-Zeichen 0120
Verwertungsinfo Lizenz verfügbar
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de