Technologieangebot
Titel Software zur Kantendetektion in SEM-Aufnahmen
Erläuterung Algorithmus und Software zur Kantendetektion in Rasterelektronenmikroskopie-Aufnahmen, Bestimmung von Linienbreiten an Nanostrukturen für Kantenwinkel von 70° bis 90°
Zusammenfassung Der Auswertealgorithmus „BDF“ besteht aus einem mathematischen Modell, welches die Abbildung einer Nanostrukturkante (Steg oder Graben) im Rasterelektronenmikroskop (REM) beschreibt und parametrisiert. Als relevante Parameter seien die Positionen von Kantenfuß und -schulter sowie der Durchmesser der REM-Elektronensonde genannt. Diese a priori unbekannten Parameter können mit mathematischen Methoden der Ausgleichsrechnung aus den Signalprofilen einer REM-Aufnahme bestimmt werden. Der Sondendurchmesser kann zur Charakterisierung des REM herangezogen werden, während sich die Werte der Kantenpositionen zur Kantenrauheitsmessung bzw. zur Bestimmung der Steg- bzw. Grabenbreiten (bei schrägen Kanten: Messung der „Top-“ und „Bottom-CD“) eignen. Der Algorithmus ist überaus robust. In Monte-Carlo simulierten SEM-Aufnahmen von Stegen mit einer Kantenwinkelvariation zwischen 70° und 90° ergaben sich Abweichungen der Top-CD von kleiner als 3 Nanometer, der Bottom-CD und des Sondendurchmessers von kleiner als 1 Nanometer. Die Software des BDF-Algorithmus wird als Standalone-Program mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche angeboten.
Weitere Informationen product_info_0111 download
Jahr 2005
Erfinder Dirscherl, Kai
Frase, Carl Georg
Buhr, Egbert
Verlauf des Patentverfahrens
IPC-Code G01B
PTB-Zeichen 0111
Verwertungsinfo Lizenz verfügbar
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de