Technologieangebot
Titel Bestimmung nahezu planarer Oberflächen
Erläuterung Referenzfreie Messung der Oberflächentopologie
Zusammenfassung Eine hochgenaue Bestimmung der Topographie einer wenigstens nahezu planaren Oberfläche durch Abtastung der Oberfläche mit Hilfe eines in Abtastrichtung relativ zur Oberfläche verschiebbaren Abtaststrahles und Ermittlung des Winkels eines von der Oberfläche reflektierenden Messstrahles, wobei die Abtastung jeweils an einem ersten Ort und wenigstens an einem um einen vorgegebenen Abstand in Abtastrichtung lateral verschobenen zweiten Ort erfolgt und aus den Winkeldifferenzen der Messung am ersten Ort und am zweiten Ort der Winkelverlauf und daraus die Oberflächenstruktur rekonstruiert wird, wird dadurch erreicht, dass die Winkelmessungen an den beiden Orten mit demselben, um den vorgegebenen linearen Abstand verschobenen Messstrahl erfolgen. Insbesondere wird dabei die Verschiebung des Messstrahles um einen solchen vorgegebenen lateralen Abstand vorgenommen, dass der Bereich der dabei entstehenden Winkeldifferenzen von größenordnungsmäßig dem Bereich der gemessenen Winkel selbst entspricht.
Weitere Informationen patent_0011_DE19833269C1 download
Jahr 1998
Erfinder Schulz, Michael
Weingärtner, Ingolf
Loheide, Stefan
Verlauf des Patentverfahrens DE 198 33 269.6 ; 1998-07-24
DE 198 33 269 C1 ; 2000-03-23
IPC-Code G01B011-024
G01B011-026
PTB-Zeichen 0011
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de