Technologieangebot
Titel Qualitätsicherung für gewölbte Flächen
Erläuterung Hochgenaue, interferometrische Messung von 3D-Oberflächen
Zusammenfassung Verfahren zur Bestimmung der Topographie von makroskopisch glatten Oberflächen von sphärisch oder asphärisch gekrümmten Probekörpern, bei dem die zu messende Oberfläche mit einem Messstrahl mit einer gegenüber der Ausdehnung der Oberfläche sehr kleinen Apertur abgetastet wird und für jeden Messpunkt durch den Messstrahl eine lokale Krümmung der Oberfläche am Messpunkt bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Messstrahl jeweils im Messpunkt im Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche ausgerichtet wird, dass am Messpunkt jeweils ein Interferogramm aus einem kohärenten auftreffenden und von der Oberfläche reflektierten Messstrahl gebildet wird und dass die Bestimmung der Krümmung aus einem Interferogramm durch Vergleich des gemessenen ausgewerteten oder unausgewerteten Interferogramms mit Daten einer in ihren Parametern zur Anpassung variierten, analytischen, dreidimensional gekrümmten Oberfläche vorgenommen wird.
Weitere Informationen patent_0017_DE19854942C2 download
Jahr 1998
Erfinder Weingärtner, Ingolf
Schulz, Michael
Verlauf des Patentverfahrens DE 198 54 942.3 ; 1998-11-27
DE 198 54 942 C2 ; 2000-11-16
IPC-Code G01B011-030
G01B011-024
PTB-Zeichen 0017
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de