Technologieangebot
Titel Lokaler Topografiemesser und Integrator
Erläuterung Rein optische Oberflächenmesstechnik mit Nanometer-Auflösung.
Zusammenfassung Zur hochpräzisen Bestimmung der Topographie einer Oberfläche durch Scannen der Oberfläche und Differenzwinkelbestimmung an wenigstens jeweils zwei voneinander beabstandeten Messpunkten einer Messposition und Auswertung der Differenzwinkelmessung zur Ermittlung der Topographie wird vorgesehen, dass in jeder Messposition aus den Messergebnissen für die jeweils wenigstens zwei Messpunkte Neigungsvektoren bestimmt werden und dass die Topographie durch vektorielle Integration über die gemessenen Neigungsvektoren ermittelt wird.
Weitere Informationen patent_033_DE10157850B4 download
Jahr 2001
Erfinder Geckeler, Ralf D.
Elster, Clemens
Weingärtner, Ingolf
Schulz, Michael
Verlauf des Patentverfahrens DE 101 57 850.4 , 2001-11-24
DE 101 57 850 B4 ; 2004-02-19
IPC-Code G01B011-024
PTB-Zeichen 0033
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de