Technologieangebot
Titel Oberflächen-Messgerät
Erläuterung Multisensor Scankopf zur Bestimmung einer Oberflächentopologie im Nanometerbereich.
Zusammenfassung Zur hochgenauen Bestimmung der Topographie einer Oberfläche, bei dem die Oberfläche mittels eines Sensoren zur Bestimmung des Abstandes zur Oberfläche aufweisenden Messkopfes gescannt wird, ist vorgesehen, dass die Oberfläche mit einer Anzahl von n Sensoren gescannt wird, die am Messkopf in einer festen räumlichen Relation zueinander angeordnet sind und dass jeweils für einen Scanschritt aufgenommene Messwerte der Sensoren durch Differenzbildungen zu einem Wert miteinander kombiniert werden und aus den kombinierten Werten die Topographie rekonstruiert wird.
Weitere Informationen patent_039_DE10254778B3 download
Jahr 2002
Erfinder Geckeler, Ralf
Elster, Clemens
Weingärtner, Ingolf
Schulz, Michael
Verlauf des Patentverfahrens DE 102 54 778.5 ; 2002-11-22
DE 102 54 778 B3 ; 2005-02-03
IPC-Code G01B
PTB-Zeichen 0039
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de