Technologieangebot
Titel Kombinationsmikroskop
Erläuterung Kombiniert ein optisches mit einem Rastersondenmikroskop.
Zusammenfassung Eine Oberflächenmessvorrichtung zur mechanischen sowie berührungslosen-optischen Untersuchung von Objektoberflächen mit einem Tastkopf zur mechanischen Messung hat eine Spiegelanordnung zur Fokussierung von Lichtstrahlen derart, dass der Fokuspunkt der von der Spiegelanordnung gebündelten Lichtstrahlen wahlweise entweder auf den Tastkopf zur Messung der Position oder Verlagerung des Tastkopfes zur mechanischen Messung oder auf die zu untersuchende Objektoberfläche zur berührungslosen-optischen Messung einstellbar ist.
Weitere Informationen patent_047_DE10226801B4 download
Jahr 2002
Erfinder Danzebrink, Hans-Ulrich
Verlauf des Patentverfahrens DE 102 26 801.0 ; 2002-06-15
DE 102 26 801 A1 ; 2004-08-01
DE 102 26 801 B4 ; 2005-03-31
IPC-Code G12B21-08
PTB-Zeichen 0047
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de