Technologieangebot
Titel Oberflächenmesssystem mit Planitätsnormal
Erläuterung Multisensorsystem zur Messung und Kalibrierung von Oberflächen mit Nanometergenauigkeit. Selbstkalibrierend durch gradlinige Ausbreitung des Lichts.
Zusammenfassung Das erfundene Verfahren nutzt einen Abstandssensor mit vielen Einzelelementen (z.B. Interferometer), und macht damit eine Abstandsmessung für alle Sensorelemente. Dieses Multi-Sensor-System (MS) wird über den Prüfling gefahren und nimmt Messwerte auf, die durch Abstands- und Neigungsfehler der Führungen, Sensorfehler und Messrauschen verfälscht werden. Das besondere ist nun, dass eine ausgefeilte mathematische Betrachtung und die Redundanz der Informationen, wenn in einem gewissen Vielfachen des Sensorabstandes gescannt wird, nahezu alle diese Einflüsse eliminieren kann, bis auf den quadratischen Anteil der Topografie. Dadurch, dass während der Messung zusätzlich eine hochgenaue Winkelinformation erfasst wird, kann diese Vieldeutigkeit behoben werden. Mit dem Verfahren kann so die Oberflächentopografie hochgenau im Nanometerbereich ermittelt werden. Parallel wird der gesamte Sensorfehler eliminiert. Trotz der hohen Auflösung benötigt das System ebenfalls kein Referenzoberflächennormal.
Weitere Informationen patent_088_DE102004033600A1 download
patent_0088_DE102004033600 B4 download
Jahr 2004
Erfinder Elster, Clemens
Schulz, Michael
Weingärtner, Ingolf
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2004 033 600.8 ; 2004-07-06
DE 10 2004 033 600 A1 ; 2006-01-26
DE 10 2004 033 600 B4 ; 2009-04-02
WO 2006 005311 ; 2006-01-19
US 2007 0176130 A1 ; 2007-08-02
US 7,385,214 B2 ; 2008-06-10
IPC-Code G01B011-024
G01B011-014
PTB-Zeichen 0088
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de