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Titel Mikro-Prüfkörper aus Silizium
Erläuterung Hochpräzise topografische Prüfkörper werden durch Ausnutzung der selektiven Ätzung an Silizium Oberflächen erzeugt.
Zusammenfassung Ein Mikro-Prüfkörper zur Einmessung und Überprüfung dimensioneller Messgeräte hat eine Anordnung von Pyramiden auf einer Fläche des Prüfkörpers, die durch Abformung einer Anordnung von in einen Siliziumwafer eingeätzten Pyramiden entstanden ist. Die Abformung kann z.B. mit Hilfe der chemischen Vernickelung ausgeführt wird, da mit diesem Verfahren kostengünstig Abformungen von hoher Genauigkeit und hoher mechanischer Stabilität hergestellt werden können. Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass mechanisch stabile Mikro-Maßverkörperungen für die Prüfung von dimensionellen Messgeräten einfach und preiswert herstellbar sowie mit geringer Messunsicherheit kalibrierbar sind.
Weitere Informationen patent_0080_DE102004022750B4 download
Jahr 2004
Erfinder Neugebauer, Michael
Wäldele, Franz
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2004 022 750.0-54 ; 2004-05-07
DE 10 2004 022 750 A1 ; 2005-12-01
DE 10 2004 022 750 B4 ; 2007-04-19
IPC-Code B81B
G01B
PTB-Zeichen 0080
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de