Technologieangebot
Titel Messgerät zum Messen einer Positions- und Winkeländerung
Erläuterung Kompaktes, homodynes Interferometer für simultane Längen- und Winkelmessungen mit der Möglichkeit zur Selbstkalibrierung für die Erfassung von Längenänderungen unter 100 pm und Verkippungen im mrad-Bereich in Echtzeit mit 500 FPS; interessant zur Qualitätssicherung für Hersteller von Hochpräzisionsverschiebetischen.
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Messgerät, insbesondere Längen- und Winkelmessgerät, zum Messen zumindest einer Positionsänderung und/oder zumindest einer Winkeländerung, mit einem Homodyn-Interferometer, das einen Strahlteiler zum Erzeugen eines Referenz-Lichtstrahls und eines Mess-Lichtstrahls aus einem primären Lichtstrahl, einen Referenz-Reflektor zum Reflektieren des Referenz-Lichtstrahls, einen beweglich geführten Mess-Reflektor zum Reflektieren des Mess-Lichtstrahls und einen Detektor umfasst, die so angeordnet sind, dass der Referenz-Lichtstrahl und der Mess-Lichtstrahl interferieren und bei Bewegung des Mess-Reflektors ein sich veränderndes Interferenzmuster entsteht, dessen Veränderung vom Detektor erfassbar ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der Detektor zumindest eine Detektorzeile zum zeilenförmigen Erfassen des Interferenzmusters aufweist und das Homodyn-Interferometer eine Transformationsvorrichtung umfasst, die mit dem Detektor zum Einlesen von Detektor-Messwerten verbunden und eingerichtet ist zum Transformieren der Detektor-Messwerte in einen Frequenzraum.
Weitere Informationen patent_0239_102010006749 B4 download
Jahr 2009
Erfinder Molnar, Gabor
Strube, Sebastian
Danzebrink, Hans-Ulrich
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2010 006 749.0 ; 2010-02-02
DE 10 2010 006 749 A1 ; 2011-08-04
WO 2011/095145 A1 ; 2011-08-11
DE 10 2010 006 749 B4 ; 2011-12-15
IPC-Code G01B
PTB-Zeichen 0239
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de