Technologieangebot
Titel Modulares Scanning-Probe-Microscope (SPM)
Erläuterung MEMS-basiertes SPM, modular erweiterbar auf eine hohe Anzahl parallel arbeitender Tastspitzen; Spitzen einfach austauschbar
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft eine Rastersonden-Antriebseinheit, die lithographisch auf einem Substrat hergestellt ist, zum Bewegen einer Sonde eines Rastersondenmikroskops. Erfindungsgemäß ist eine Sondenhalter-Befestigung zum Befestigen eines Sondenhalters mit der Sonde, ein Sondenhalter-Aktor zum Bewegen des Sondenhalters und ein Befestigungs-Aktor, der in eine Lösestellung, in der der Sondenhalter ausgetauscht werden kann, bringbar ist, vorgesehen.
Weitere Informationen patent_0211_DE102009010096 A1 download
patent_0211_DE102009010096 B4 download
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Jahr 2008
Erfinder Gao, Sai
Li, Zhi
Herrmann, Konrad
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2009 010 096.2 ; 2009-02-24
DE 10 2009 010 096 A1 ; 2010-09-16
DE 10 2009 010 096 B4 ; 2011-01-13
IPC-Code G01Q
PTB-Zeichen 0211
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR § LICENCE AVAILABLE
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de