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Titel Pikokraftsensor
Erläuterung Kraftmessung bis hinab zu Pikonewton (pN) basierend auf MEMS (Micro Electro Mechanical System); für nächste Generation von Kraftnormalen aufgrund hoher Resonanzfrequenz.
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Kraftmessgerät, das ausgebildet ist für zu messende Kräfte unterhalb von 1 Mikronewton, mit einem Substrat, einem Schaft zum Aufnehmen der zu messenden Kraft, einer mäandrierend geformten Feder, die in einer Substrat-Befestigungsstelle an dem Substrat befestigt ist und einen ersten Abschnitt und zumindest einen zweiten Abschnitt in Form eines Endabschnitts, der in einer Schaft-Befestigungsstelle am Schaft befestigt ist, aufweist, und einem kapazitiven Sensor, der angeordnet ist zum Erfassen einer Position zumindest eines Abschnitts relativ zum Substrat.
Weitere Informationen patent_0208_DE102008063797 A1 download
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Jahr 2008
Erfinder Gao, Sai;
Li, Zhi;
Herrmann, Konrad
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2008 063 797.1 ; 2008-12-18
EP 09015554.0 ; 2009-12-16
DE 10 2008 063 797 A1 ; 2010-07-01
EP 2 199 769 A2 ; 2010-06-23
IPC-Code GO1L001-014
PTB-Zeichen 8208
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de