Technologieangebot
Titel Nanoindentor auf Basis MEMS
Erläuterung Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) basierter Indentor ermöglicht Härtemessung von Nanoschichten; zur Materialcharakterisierung
Zusammenfassung Es wird ein Indentor zur Messung von mechanischen Eigenschaften von Materialien mit einem Eindringkörper mit vorbestimmter Geometrie, einer Einrichtung zur Krafterzeugung, mit der der Eindringkörper in eine zu messende Materialoberfläche eindringt, und einer Einrichtung zur Messung einer Eindringtiefe offenbart. Er findungsgemäß ist vorgesehen, dass die Einrichtung zur Krafterzeugung und die Einrichtung zur Messung der Eindringtiefe durch mindestens einen ersten Kammantriebsaktuator gebildet sind, der zwei Kammelektroden aufweist, die jeweils eine Vielzahl von zueinander parallel ausgerichteten Kammfingern derart aufweisen, dass die Kammfinger der beiden Kammelektroden sich in Abhängigkeit von einer angelegten elektrischen Spannung teilweise überlappen. Es wird ferner ein entsprechendes Verfahren offenbart.
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Jahr 2006
Erfinder Li, Zhi
Herrmann, Konrad
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2006 052 153.6 ; 2006-11-02
DE 10 2006 052 153 A1 ; 2008-05-08
DE 10 2006 052 153 B4 ; 2010-02-04
IPC-Code G01N003-042
PTB-Zeichen 0135
Verwertungsinfo Lizenz verfügbar
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de