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Titel Erhabener Sondenkörper
Erläuterung Durch die Ausführung als erhabene Sonde sind tiefe und hinterschnittene Oberflächenprofile ausmessbar.
Zusammenfassung Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung topologischer oder elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers, insbesondere Scansonden-Mikroskop, mit einem Sondenkörper, der erhaben an einem Träger angeordnet ist. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung bereitzustellen, mit der die Aufnahme spezieller Oberflächenprofile mit einem hohen Aspektverhältnis und/oder hinterschnittenen Strukturen durchgeführt wird. Diese Erfindung wird dadurch gelöst, dass der Sondenkörper einen Hinterschnitt aufweist.
Weitere Informationen patent_074_DE10326379A1 download
Jahr 2003
Erfinder Behrens, I.
Peiner, E.
Doering, Lutz
Herold, Björn
Verlauf des Patentverfahrens DE 103 26 379.9 ; 2003-06-12
DE 103 26 379 A1 ; 2005-01-27
DE 103 26 379 B4; 2007-04-05
IPC-Code G01N013-016
G12B021-008
PTB-Zeichen 0074
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de