Technologieangebot
Titel Luftlager mit Nanometerpräzision
Erläuterung Eine spezielle Kombination aus Präzisionsdruckregelung und laminarer Umströmung ermöglicht reproduzierbare Tischhöhen von 2 nm.
Zusammenfassung Es wird ein Luftlager mit einem zwischen einer Lagerfläche und einem Lagerkörper ausgebildeten Lagerspalt offenbart, der über eine Zufuhrleitung mit einer Druckluftquelle verbunden ist. Erfindungsgemäß sind eine Einrichtung zum Erfassen des Luftdrucks der Zufuhrleitung und ein an der Lagerfläche zugewandten Seite des Lagerkörpers von dem Lagerspalt umgebener Hohlraum vorgesehen, der mit einer Unterdruckquelle verbunden ist. Ferner wird ein entsprechendes Verfahren zum Einstellen des Lagerspaltes offenbart.
Weitere Informationen patent_0100_DE102005050108 B4 download
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Jahr 2005
Erfinder Thomsen-Schmidt, Peter
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2005 050 108.7 ; 2005-10-18
DE 10 2005 050 108 A1 ; 2007-04-26
DE 10 2005 050 108 B4 ; 2009-04-09
IPC-Code F16C032-006
B23Q001-038
PTB-Zeichen 0100
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de