Technologieangebot
Titel AFM-Taster für die Mikrosystemtechnik
Erläuterung Ein Cantileverarm eines Rasterkraftmikroskops (AFM) wird modifiziert um komplexe Mikrostrukturen, wie Zahnräder, Laschen, Bohrungen mit sub-Mikrometer Genauigkeit auszumesen.
Zusammenfassung Es wird eine Sondenvorrichtung zur Messung von Mikro- und/oder Nanostrukturen mit einem biegeelastischen Cantilever, der mit einem ersten Ende fest an einem Substrat angeordnet ist und bei dem eine Auslenkung aus der Ruhelage des zweiten, freien Endes erfassbar ist, und mit einer Sondenspitze offenbart, die mit einer zu messenden Struktur in eine Wechselwirkung bringbar ist, die die Auslenkung des freien Endes des Cantilevers bewirkt. Um den Messbereich gegenüber bekannten Sondenvorrichtungen zu erweitern, ist zwischen dem Cantilever und der Sondenspitze eine Verlängerung vorgesehen, die von dem Cantilever abgewinkelt ist und eine Bewegung der Sondenspitze in eine Auslenkung des Cantilevers überträgt. Es wird ferner eine Messanordnung mit einer erfindungsgemäßen Sondenvorrichtung offenbart.
Weitere Informationen one_page_info_0106 download
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Jahr 2005
Erfinder Dai, Gaoliang
Wolff, Helmut
Danzebrink, Hans-Ulrich
Pohlenz, Frank
Verlauf des Patentverfahrens DE 10 2005 057 218.9 ; 2005-11-29
DE 10 2005 057 218 A1 ; 2007-05-31
IPC-Code G12B021-002
G01N013-010
G12B0
PTB-Zeichen 0106
Verwertungsinfo LIZENZ VERFÜGBAR
Kontakt Dr. Bernhard Smandek, Tel.: +49 531 592 8303 Fax +49 531 592 69 8303; bernhard.smandek@ptb.de