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Oberflächenmesstechnik in Nanometer-Präzision
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PTB#
(Jahr)
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Titel
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Erläuterung
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IPC#
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7016
(2011)
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Taktiler Mikrotaster
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Der taktile Mikrotaster basiert auf einem lithografischen, siliziumbasierten Verfahren, welches zu einem verbesserten Antastsystem führt; geeignet für Koordinatenmessgeräte für die Mikrosystemtechnik mit Antastelementen im Mikrometerbereich.
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G01N
G01B
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7015
(2011)
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Phasendifferenzanalyse in der
Magnetkraftmikroskopie
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Ermöglicht die nm-genaue Analyse der magnetischen Struktur von Oberflächen wie z.B. in der Entwicklung von Computerfestplatten und der Untersuchung von magnetischen Kleinstpartikeln.
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G01N
G12B
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0281
(2010)
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Leuchtstoffröhren-Adapter für den Ex-Schutz
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Einsatz bei handelsüblichen Leuchtstoffröhren (T5-Röhren) in explosionsgeschützten Bereichen zur Erhöhung der Langlebigkeit; Adapter ermöglicht höhere Abschaltschwellen und damit wirtschaftlicheren Betrieb
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H01J
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0194
(2007)
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Geometrienormal für Mikrosystemtechnik
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Basierend auf lithografischen Methoden können beliebige 3D-Normale im sub-mm-Bereich hergestellt werden. Durch einkristallines Substratmaterial exzellente Oberflächenrauhigkeit in allen Raumdimensionen.
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G01B003-004
B81B001-000
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0146
(2007)
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Flächenselektives Fizeau-Interferometer
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Ermöglicht die Selektion von Vorder- und Rückreflex eines Testobjektes in einem Fizeau-interferometer.
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G01B011-014
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0132
(2007)
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Drehpunkts-Projektor
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Messsystem für Oberflächentopografien mit Nanometergenauigkeit. Zur Qualitätsicherung bei planen, sphärischen und asphärischen Oberflächen.
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G01B
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0121
(2006)
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Robuster Topographiemesser
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Plane oder nahezu plane Oberflächen können mit einer Genauigkeit von 0,001" oder 5 nm/m vermessen werden.
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G01B
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0120
(2006)
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Fizeau-Interferometer
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Eine neue Generation optischer Strahlteiler, eingesetzt in einem Fizeau-Interferometer, verbessert in einem einfacheren optischen Aufbau Qualitätssicherung an Oberflächen.
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G01B
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0111
(2005)
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Software zur Kantendetektion in SEM-Aufnahmen
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Algorithmus und Software zur Kantendetektion in Rasterelektronenmikroskopie-Aufnahmen, Bestimmung von Linienbreiten an Nanostrukturen für Kantenwinkel von 70° bis 90°
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G01B
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0095
(2005)
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Autokollimationsfernrohr
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Durch die Verwendung von Phasenmasken in Autokollimationsfernrohren können um den Faktor 4 kleinere Flächen in der dimensionellen Messtechnik bestimmt werden. Einsatzbereich bei Mikrooptiken und in der Formmessung von Oberflächen (Topologien).
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G02B
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0088
(2004)
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Oberflächenmesssystem mit Planitätsnormal
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Multisensorsystem zur Messung und Kalibrierung von Oberflächen mit Nanometergenauigkeit. Selbstkalibrierend durch gradlinige Ausbreitung des Lichts.
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G01B011-024
G01B011-014
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0080
(2004)
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Mikro-Prüfkörper aus Silizium
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Hochpräzise topografische Prüfkörper werden durch Ausnutzung der selektiven Ätzung an Silizium Oberflächen erzeugt.
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B81B
G01B
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0047
(2002)
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Kombinationsmikroskop
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Kombiniert ein optisches mit einem Rastersondenmikroskop.
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G12B21-08
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0039
(2002)
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Oberflächen-Messgerät
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Multisensor Scankopf zur Bestimmung einer Oberflächentopologie im Nanometerbereich.
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G01B
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0033
(2001)
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Lokaler Topografiemesser und Integrator
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Rein optische Oberflächenmesstechnik mit Nanometer-Auflösung.
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G01B011-024
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0032
(2001)
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Messgerät für Krümmungsradius
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Messung des absoluten Radius einer gekrümmten Oberfläche mit hoher Präzision.
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G01B021-020
G01B011-255
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0017
(1998)
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Qualitätsicherung für gewölbte Flächen
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Hochgenaue, interferometrische Messung von 3D-Oberflächen
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G01B011-030
G01B011-024
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0012
(1998)
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Topografie-Scanner
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Erstmalige Bestimmung gekrümmter Oberflächen ohne Kalibirierung und referenzfrei.
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G01B011-030
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0011
(1998)
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Bestimmung nahezu planarer Oberflächen
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Referenzfreie Messung der Oberflächentopologie
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G01B011-024
G01B011-026
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