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Nanotechnologie
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PTB#
(Jahr)
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Titel
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Erläuterung
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IPC#
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8208
(2008)
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Pikokraftsensor
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Kraftmessung bis hinab zu Pikonewton (pN) basierend auf MEMS (Micro Electro Mechanical System); für nächste Generation von Kraftnormalen aufgrund hoher Resonanzfrequenz.
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GO1L001-014
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7016
(2011)
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Taktiler Mikrotaster
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Der taktile Mikrotaster basiert auf einem lithografischen, siliziumbasierten Verfahren, welches zu einem verbesserten Antastsystem führt; geeignet für Koordinatenmessgeräte für die Mikrosystemtechnik mit Antastelementen im Mikrometerbereich.
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G01N
G01B
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7015
(2011)
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Phasendifferenzanalyse in der
Magnetkraftmikroskopie
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Ermöglicht die nm-genaue Analyse der magnetischen Struktur von Oberflächen wie z.B. in der Entwicklung von Computerfestplatten und der Untersuchung von magnetischen Kleinstpartikeln.
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G01N
G12B
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0260
(2009)
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Mikrokraftsensor
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Neuartiger Mikrokraftsensor zum Messen von Kräften im Bereich von μN bis mN.
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G01L
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0255
(2009)
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Nanokraftsensor ohne störende Nichtlinearität der Steifigkeit
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Nanokraftsensor zur vereinfachten Messung von Kräften im nN- bis mN-Bereich.
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G01L
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0239
(2009)
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Messgerät zum Messen einer Positions- und Winkeländerung
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Kompaktes, homodynes Interferometer für simultane Längen- und Winkelmessungen mit der Möglichkeit zur Selbstkalibrierung für die Erfassung von Längenänderungen unter 100 pm und Verkippungen im mrad-Bereich in Echtzeit mit 500 FPS; interessant zur Qualitätssicherung für Hersteller von Hochpräzisionsverschiebetischen.
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G01B
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0211
(2008)
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Modulares Scanning-Probe-Microscope (SPM)
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MEMS-basiertes SPM, modular erweiterbar auf eine hohe Anzahl parallel arbeitender Tastspitzen; Spitzen einfach austauschbar
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G01Q
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0194
(2007)
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Geometrienormal für Mikrosystemtechnik
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Basierend auf lithografischen Methoden können beliebige 3D-Normale im sub-mm-Bereich hergestellt werden. Durch einkristallines Substratmaterial exzellente Oberflächenrauhigkeit in allen Raumdimensionen.
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G01B003-004
B81B001-000
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0173
(2007)
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Nachweis von Analyten mit magnetischen Nanopartikeln
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Die Konzentration von Analyten wird auf einfache Weise mittels der Relaxationszeit der eingebrachten magnetischen Sonden bestimmt, ohne dass eine weitere Probenaufbereitung erfolgen müsste.
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G01N033-058
G01N033-553
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0163
(1996)
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Magnetische Detektion von Analyten
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Das Verfahren des Magnetischen Relaxations-Immunoassay* (MARIA) verwendet magnetische Nanopartikel als Marker für Sonden. Mittels rein magnetischer Methoden können so z.B. Antikörper nachgewiesen werden.
*Assay = standardisierter Reaktionsablauf
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G01N
G01R
A61B
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0139
(2006)
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Verfahren zur Prüfung von Mikrostrukturen
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Optisches Verfahren ermöglicht Vermessung lateraler Strukturen mit Nanometer-Auflösung; zur Qualitätssicherung von MEMS
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G01B
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0135
(2006)
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Nanoindentor auf Basis MEMS
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Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) basierter Indentor ermöglicht Härtemessung von Nanoschichten; zur Materialcharakterisierung
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G01N003-042
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0131
(2006)
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Atomarer Winkelteiler
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Führt Winkelteilung auf atomare Größen und damit auf Naturkonstante zurück
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G01B021-022
G01Q010/000
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0121
(2006)
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Robuster Topographiemesser
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Plane oder nahezu plane Oberflächen können mit einer Genauigkeit von 0,001" oder 5 nm/m vermessen werden.
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G01B
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0111
(2005)
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Software zur Kantendetektion in SEM-Aufnahmen
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Algorithmus und Software zur Kantendetektion in Rasterelektronenmikroskopie-Aufnahmen, Bestimmung von Linienbreiten an Nanostrukturen für Kantenwinkel von 70° bis 90°
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G01B
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0106
(2005)
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AFM-Taster für die Mikrosystemtechnik
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Ein Cantileverarm eines Rasterkraftmikroskops (AFM) wird modifiziert um komplexe Mikrostrukturen, wie Zahnräder, Laschen, Bohrungen mit sub-Mikrometer Genauigkeit auszumesen.
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G12B021-002
G01N013-010
G12B0
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0100
(2005)
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Luftlager mit Nanometerpräzision
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Eine spezielle Kombination aus Präzisionsdruckregelung und laminarer Umströmung ermöglicht reproduzierbare Tischhöhen von 2 nm.
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F16C032-006
B23Q001-038
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0088
(2004)
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Oberflächenmesssystem mit Planitätsnormal
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Multisensorsystem zur Messung und Kalibrierung von Oberflächen mit Nanometergenauigkeit. Selbstkalibrierend durch gradlinige Ausbreitung des Lichts.
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G01B011-024
G01B011-014
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0074
(2003)
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Erhabener Sondenkörper
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Durch die Ausführung als erhabene Sonde sind tiefe und hinterschnittene Oberflächenprofile ausmessbar.
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G01N013-016
G12B021-008
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0057
(2003)
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Scansonden-Mikroskop für Nichtleiter
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Berührende und berührungslose Messung eines Probenkörpers mittels eines Scansonden-Mikroskops (STM)
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G12B021-002
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0047
(2002)
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Kombinationsmikroskop
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Kombiniert ein optisches mit einem Rastersondenmikroskop.
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G12B21-08
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0039
(2002)
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Oberflächen-Messgerät
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Multisensor Scankopf zur Bestimmung einer Oberflächentopologie im Nanometerbereich.
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G01B
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0033
(2001)
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Lokaler Topografiemesser und Integrator
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Rein optische Oberflächenmesstechnik mit Nanometer-Auflösung.
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G01B011-024
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0012
(1998)
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Topografie-Scanner
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Erstmalige Bestimmung gekrümmter Oberflächen ohne Kalibirierung und referenzfrei.
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G01B011-030
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0011
(1998)
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Bestimmung nahezu planarer Oberflächen
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Referenzfreie Messung der Oberflächentopologie
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G01B011-024
G01B011-026
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