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Geometrische Messtechnik
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PTB#
(Jahr)
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Titel
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Erläuterung
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IPC#
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8170
(2007)
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Positionsbestimmung durch Symmetriebetrachtung
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Symmetrie-basierte Auswertung verrauschter Messwerte; verringert Messunsicherheit deutlich; für Optik, Distanzmessung, Satellitennavigation
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G06F017-014
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7016
(2011)
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Taktiler Mikrotaster
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Der taktile Mikrotaster basiert auf einem lithografischen, siliziumbasierten Verfahren, welches zu einem verbesserten Antastsystem führt; geeignet für Koordinatenmessgeräte für die Mikrosystemtechnik mit Antastelementen im Mikrometerbereich.
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G01N
G01B
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7015
(2011)
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Phasendifferenzanalyse in der
Magnetkraftmikroskopie
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Ermöglicht die nm-genaue Analyse der magnetischen Struktur von Oberflächen wie z.B. in der Entwicklung von Computerfestplatten und der Untersuchung von magnetischen Kleinstpartikeln.
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G01N
G12B
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0327
(2012)
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Sensoren in Dünnschichttechnik
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Dünnschichtsensoren ermöglichen die hochpräzise und ortsaufgelöste Messung von diversen physikalischen Zuständen, insbesondere auch an besonders kleinen und schwer zugänglichen Stellen sowie unter rauen Umweltbedingungen; Mögliche Einsatzbereiche der Dünnschichtsensorik sind neben der Dehnungsmessung und damit der Kraftsensorik auch die Messung der Temperatur.
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C23C
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0293
(2011)
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Vermessung von Rundholz in Vollerntern (Harvester)
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Vermessung von Rundholz unter Zuhilfenahme des Messkopfs von Vollerntern mit hoher Präzision
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A01G
G01B
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0287
(2010)
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Prüfkörper für Holz-Vollernter (Harvester)
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Prüfkörper ermöglicht erstmalig die Kalibrierung der Volumenmesseinrichtung von Holzstämmen im Holz-Vollernter (Harvester).
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G01B
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0283
(2010)
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Rotationsstitching für große Flächen
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Die Ebenheitskalibrierung großer optischer Prüflinge wird nun präziser und einfacher. Mit relativ kleinen Interferometern können jetzt auch wesentlich größere Flächen hochgenau vermessen werden. Der Clou – einzelne Teiltopografien werden miteinander verknüpft. Ein weiterer Vorteil des neuen PTB-Konzepts: Durch die vertikale Anordnung des Prüflings wird es noch genauer, denn die störenden Schwerkrafteinflüsse entfallen.
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G01B
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0262
(2010)
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Kritische Düsen zur Volumenstrombestimmung
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Verfahren und Einrichtungen zur Erzeugung definierter konstanter
Volumenströme, einsetzbar für die Untersuchung und
Kalibrierung von Flüssigkeitsmengenmessgeräten.
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G05D
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0260
(2009)
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Mikrokraftsensor
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Neuartiger Mikrokraftsensor zum Messen von Kräften im Bereich von μN bis mN.
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G01L
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0255
(2009)
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Nanokraftsensor ohne störende Nichtlinearität der Steifigkeit
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Nanokraftsensor zur vereinfachten Messung von Kräften im nN- bis mN-Bereich.
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G01L
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0239
(2009)
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Messgerät zum Messen einer Positions- und Winkeländerung
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Kompaktes, homodynes Interferometer für simultane Längen- und Winkelmessungen mit der Möglichkeit zur Selbstkalibrierung für die Erfassung von Längenänderungen unter 100 pm und Verkippungen im mrad-Bereich in Echtzeit mit 500 FPS; interessant zur Qualitätssicherung für Hersteller von Hochpräzisionsverschiebetischen.
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G01B
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0218
(2008)
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Mobile Messeinrichtung
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Hochgenaue geometrische Messung von großen Werkstücken, z.B. Zahnrädern, mit Durchmesser > 1 m
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G01B
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0216
(2008)
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Kegelradnormal
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Rückführung der Kegelradform auf die Vermessung von Kugelteilen
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G01B
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0211
(2008)
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Modulares Scanning-Probe-Microscope (SPM)
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MEMS-basiertes SPM, modular erweiterbar auf eine hohe Anzahl parallel arbeitender Tastspitzen; Spitzen einfach austauschbar
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G01Q
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0210
(2008)
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Autokollimator-Winkelbestimmung
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Orientierungsbestimmung des Messobjekts bei Autokollimatoren
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G01B
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0196
(2008)
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Prüfkörper für Rundhölzer
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Ermöglicht genaueste Vermessung von Baumstämmen mittels Lasertechnik
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G01B011-024
G01B011-008
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0194
(2007)
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Geometrienormal für Mikrosystemtechnik
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Basierend auf lithografischen Methoden können beliebige 3D-Normale im sub-mm-Bereich hergestellt werden. Durch einkristallines Substratmaterial exzellente Oberflächenrauhigkeit in allen Raumdimensionen.
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G01B003-004
B81B001-000
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0182
(2007)
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AFM-Scanntisch
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Preisgünstiges Design eines AFM-Verschiebetisches für Rasterkraftmiskroskope (AFM); besonders geeignet für Ausbildungszwecke.
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G12B021-020
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0177
(2007)
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Differentielles konfokales Mikroskop
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Erhöhung der Auflösung eines traditionellen konfokalen Mikroskops durch den Einsatz versetzter Blenden bis in den Nanometerbereich durch "common mode rejection"
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G02B021-000
G01B009-004
G01B011-024
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0146
(2007)
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Flächenselektives Fizeau-Interferometer
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Ermöglicht die Selektion von Vorder- und Rückreflex eines Testobjektes in einem Fizeau-interferometer.
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G01B011-014
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0139
(2006)
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Verfahren zur Prüfung von Mikrostrukturen
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Optisches Verfahren ermöglicht Vermessung lateraler Strukturen mit Nanometer-Auflösung; zur Qualitätssicherung von MEMS
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G01B
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0138
(2006)
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Winkeldekoder-Anordnung
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Optimiert Sensoranzahl für Winkeldekoder; erhöhte Präzision bei geringeren Herstellungskosten
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G01B
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0131
(2006)
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Atomarer Winkelteiler
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Führt Winkelteilung auf atomare Größen und damit auf Naturkonstante zurück
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G01B021-022
G01Q010/000
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0127
(2006)
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Tomographie-Prüfkörper
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3D-Kalibrierung industrieller Tomographiegeräte mittels unabhängig kalibrierter Kugelkalotten-Anordnung.
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G01B015-000
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0121
(2006)
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Robuster Topographiemesser
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Plane oder nahezu plane Oberflächen können mit einer Genauigkeit von 0,001" oder 5 nm/m vermessen werden.
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G01B
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0120
(2006)
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Fizeau-Interferometer
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Eine neue Generation optischer Strahlteiler, eingesetzt in einem Fizeau-Interferometer, verbessert in einem einfacheren optischen Aufbau Qualitätssicherung an Oberflächen.
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G01B
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0106
(2005)
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AFM-Taster für die Mikrosystemtechnik
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Ein Cantileverarm eines Rasterkraftmikroskops (AFM) wird modifiziert um komplexe Mikrostrukturen, wie Zahnräder, Laschen, Bohrungen mit sub-Mikrometer Genauigkeit auszumesen.
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G12B021-002
G01N013-010
G12B0
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0101
(2005)
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Zahnradnormal
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Zahnradnormal mit definierten Unebenheiten; zur Geräusch- und Verlustminimierung, Optimierung der Drehmomentübertragung
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G01M-013-002
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0095
(2005)
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Autokollimationsfernrohr
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Durch die Verwendung von Phasenmasken in Autokollimationsfernrohren können um den Faktor 4 kleinere Flächen in der dimensionellen Messtechnik bestimmt werden. Einsatzbereich bei Mikrooptiken und in der Formmessung von Oberflächen (Topologien).
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G02B
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0088
(2004)
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Oberflächenmesssystem mit Planitätsnormal
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Multisensorsystem zur Messung und Kalibrierung von Oberflächen mit Nanometergenauigkeit. Selbstkalibrierend durch gradlinige Ausbreitung des Lichts.
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G01B011-024
G01B011-014
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0081
(2003)
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Profil- und Verschiebungsmesssystem
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Kontaktlose Profilmessung mittels konfokaler Mikroskopie.
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G01B009-002
G01B009-004
G01B011-030
G01B011-014
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0080
(2004)
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Mikro-Prüfkörper aus Silizium
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Hochpräzise topografische Prüfkörper werden durch Ausnutzung der selektiven Ätzung an Silizium Oberflächen erzeugt.
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B81B
G01B
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0074
(2003)
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Erhabener Sondenkörper
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Durch die Ausführung als erhabene Sonde sind tiefe und hinterschnittene Oberflächenprofile ausmessbar.
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G01N013-016
G12B021-008
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0073
(2003)
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Prüfbohrung mit hohem Aspektverhältnis
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Erzeugung eines kalibrierten Prüfkörpers mit Aspektverhältnis bis 1:25
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B23P013-000
B23P015-016
G01B011-003
G01B021-014
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0065
(2003)
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Laserinterferometer in der Koordinatenmesstechnik
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Für kartesische Koordinatenmessgeräte mit Drehtisch. Hohe Genauigkeit durch Laserinterferometer.
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G01B011-003
G01B009-002
G01B011-027
G01J001-042
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0032
(2001)
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Messgerät für Krümmungsradius
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Messung des absoluten Radius einer gekrümmten Oberfläche mit hoher Präzision.
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G01B021-020
G01B011-255
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0026
(2001)
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Koordinatenmessgerät mit Überbestimmung
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Genauigkeitssteigerung durch Integration eines zweiten Messystems in Koordinatenmessgeräte. Überbestimmung der Anordnung ermöglicht Präzisionsteigerung
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G01B021-004
G01B011-002
B23Q017-000
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0017
(1998)
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Qualitätsicherung für gewölbte Flächen
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Hochgenaue, interferometrische Messung von 3D-Oberflächen
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G01B011-030
G01B011-024
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0014
(1998)
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Neuartiger Fourier-Filter
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Verfahren zur Rekonstruktion einer Messgröße aus verrauschten Differenzmessungen.
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G01J009-002
G01D003-002
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0012
(1998)
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Topografie-Scanner
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Erstmalige Bestimmung gekrümmter Oberflächen ohne Kalibirierung und referenzfrei.
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G01B011-030
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0011
(1998)
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Bestimmung nahezu planarer Oberflächen
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Referenzfreie Messung der Oberflächentopologie
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G01B011-024
G01B011-026
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