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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

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Vortrag

Interferometrische Bestimmung von absoluten Kugelradiustopografien

Kolloquium der Abteilung 5 - "Achtung Terminänderung" !!

Montag, 20. September 2010 10:00
Vortragende/r: Dr. Guido Bartl
Institut: Fachbereich 5.4 "Interferometrie an Maßverkörperungen"
Ort: PTB Braunschweig, Vieweg-Bau, Raum 133

Das Kugelinterferometer der PTB wurde ursprünglich dafür konzipiert, die Volumenbestimmung von sphärischen Maßverkörperungen – insbesondere den Kugeln des Avogadro-Projekts – über präzise Durchmessermessungen mit einer Unsicherheit von einem Nanometer oder weniger zu ermöglichen. Nun wurde ein Verfahren implementiert, mit dem der Verwendungszweck des Interferometers auf Bereiche erweitert werden kann, in denen nicht ein Kugelvolumen oder -durchmesser, sondern eine richtungsabhängige Radiusinformation gefragt ist.

So genannte Stitching-Verfahren, bei denen einzeln gemessene Segmente einer (optischen) Oberfläche zu einer Gesamttopografie zusammengesetzt werden, sind auf dem Gebiet der Optikherstellung bereits bekannt. Für komplette Kugeltopografien überragte in bisherigen Ansätzen allerdings die Messunsicherheit die zu messende Formabweichung des Kugelprüflings.

Die für das Kugelinterferometer der PTB implementierte Lösung nutzt dessen zweiseitiges Messprinzip aus, um Ergebnisse höherer Qualität zu erreichen. An Stelle der üblicherweise aus der Auswertung erhaltenen Durchmessertopografie, die punktsymmetrisch zum Kugelmittelpunkt ist und somit keine eindeutige Seitenzuordnung der topografischen Merkmale der Kugeloberfläche zulässt, rekonstruiert das implementierte Stitching-Verfahren erstmals die wirkliche, absolute Form der Kugel auf einige Nanometer genau.



© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Letzte Änderung: 2010-02-16Seite drucken Druckansicht