Newly approved research projects
Entwicklung und Charakterisierung optischer Materialien für die 157-nm-Lithographie
- Schott Lithotec AG
Leiter des Forschungsvorhabens: M. Richter (7.11 UV- und VUV-Radiometrie)
Detektion von Excimerstrahlung im UV und VUV
- GOS e.V.
Leiter des Forschungsvorhabens: M. Richter (7.11 UV- und VUV-Radiometrie)
Development of Polarization Optics in the Vacuum Ultraviolet
- IOTA
Leiter des Forschungsvorhabens: M. Richter (7.11 UV- und VUV-Radiometrie)
Characterization of optical components
- ASML
Leiter des Forschungsvorhabens: F. Scholze (7.12 EUV-Radiometrie)
Hochpräzise reflektometrische Charakterisierung von EUV-Optiken
- Carl Zeiss SMT AG
Leiter des Forschungsvorhabens: F. Scholze (7.12 EUV-Radiometrie)
Bestimmung des Reflexionsgrades von EUV-Photomasken
- Schott Lithotec AG
Leiter des Forschungsvorhabens: F. Scholze (7.12 EUV-Radiometrie)
Bestimmung der EUV-Reflektivität von Mo-Si-Multischichten
- IOF/FhG
Leiter des Forschungsvorhabens: F. Scholze (7.12 EUV-Radiometrie)
Radiometrie für die Röntgenastronomie
- ESTEC (ESA)
Leiter des Forschungsvorhabens: M. Krumrey (7.13 Röntgenradiometrie)
Characterization of detectors and optical components of X-rays and soft X-rays
- CEA
Leiter des Forschungsvorhabens: M. Krumrey (7.13 Röntgenradiometrie)
Nanoschichtsysteme
- DFG
Leiter des Forschungsvorhabens: B. Beckhoff (7.14 Röntgenspektrometrie)
Non-destructive analyses of semiconductor surfaces
- IMEC
Leiter des Forschungsvorhabens: B. Beckhoff (7.14 Röntgenspektrometrie)
ProInno-Projekt: Entwicklung es handlichen und transportablen Hochtemperaturstrahlers bis 3200 °C
- BMWI
Leiter des Forschungsvorhabens: J. Hartmann (7.32 Hochtemperaturstrahlungsthermometrie)