Areas of Activities

5 Abteilung Fertigungsmesstechnik Prof. Dr. M. Kühne

5.1 Fachbereich Nano- und Mikrometrologie Dr. G. Wilkening

5.11 Mikrosystemmesstechnik Dr. U. Brand

Untersuchung von Tastereigenschaften (3D-Kalibriereinrichtung für Mikrotastsysteme)
Entwicklung taktiler Antastverfahren für Mikrostrukturen (3D-Mikrotaster, Rauheitssensoren auf der Basis von Si-Cantilevern)
Aufbau und Erprobung einer 3D-Mikromesseinrichtung (3D-MME)
Tiefeneinstellnormale > 10 µm
Mitarbeit im SFB 516 (Messtechnik für SFB, µN-Kraft-Kalibriertechnik)
CC UPOB

5.12 Härtemesstechnik Dr. K. Herrmann

DKD-Begutachtung und -Akkreditierung von Härtelaboratorien, Vergleichsmessungen auf dem Gebiet der Härte
Mitarbeit in Gremien Härte von DIN, ISO, IMEKO, CCM
Weiterentwicklung der Normalmesseinrichtung für Makrohärte
Entwicklung metrologischer Grundlagen für Nanoindentationsverfahren
Untersuchung des laserakustischen Messverfahrens
Kalibrierungen von Härtenormalplatten

5.13 Grenzflächenstrukturen Dr. J. Stümpel

Theoretische Grundlagen der diffusen Röntgenstreuung (DXRS), Entwicklung von Methoden der diffusen Röntgenstreuung (DXRS)
Schichtdickenmessung mit Reflektometrie (XRR)
Charakterisierung von Festkörperdünnschichtsystemen und strukturierten Grenzflächen

5.14 Schichtdicke und Nanostrukturen Dr. L. Koenders

Bestimmung der Mikrotopografie dünner Schichten
SPM-Messtechnik und Wechselwirkungen
Verbesserung der Schichtdickenmesstechnik
Mikro- und Nanoschichtdickennormale
Weiterentwicklung Längenmesstechnik mit SPM
Kalibrierung von Schichtdickennormalen und Geräten
Kalibrierung von lateralen Normalen
DKD-Begutachtung und -Akkreditierung im Bereich Schichtdicke

5.15 Quantitative Rastersondenmikroskope Dr. H.-U. Danzebrink

Geräteentwicklung von Metrologie-SPMs
Weiterentwicklung der Nanomessmaschine
Entwicklung von SPM-Antastköpfen
Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

5.16 Rauheitsmessverfahren Dr. R. Krüger-Sehm

Weiterentwicklung Interferenzmikroskopie
Aufbau eines hochauflösenden Tastschnittgerätes (HRTS)
Entwicklung und Kalibrierung von Nanoraunormalen

5.17 Kalibrierung von Rauheitskenngrößen Dipl.-Ing. L. Jung

Kalibrierung von Tiefeneinstell-, Stufenhöhen-, Raunormalen und Geräten
Referenzsoftware und Filter in der Rauheitsmesstechnik
DKD-Begutachtung und -Akkreditierung im Bereich Rauheitsmessung

5.2 Fachbereich Längen- und Winkelteilungen Dr. H. Bosse

5.21 Längenteilungen Dr. J. Flügge

Weiterentwicklung Nanometerkomparator und Einsatz für hochpräzise 1D-Längenkalibrierungen
Entwicklung eines kombinierten optischen und Röntgen-Interferometers zur Bestimmung der Gitterkonstante von Siliciumeinkristallen
Untersuchung von Längenmesssystemen für die Mikrosystemtechnik (SFB 516)
Kalibrierung thermischer Ausdehnungskoeffizienten stabförmiger Messobjekte
Temperaturmesstechnik für die Längenmessung bei 20 °C
Nutzerbetreuung der Prozessperipherie PP2
DKD-Begutachtungen und Kalibrierung von Vergleichsnormalen für DKD-Laboratorien im Bereich 1D-Strichteilungen

5.22 Maskenmesssysteme Dr. H. Bosse

Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für Positionsmessungen an zweidimensionalen Maßverkörperungen mit Nano- und Mikrostrukturteilungen
Untersuchung und Optimierung von optischen, elektronenoptischen und rastersondenmikroskopischen Messverfahren zur Strukturlokalisierung
Kalibrierung von Photomasken, Wafern, Strichmaßstäben und Strichplatten
DKD-Begutachtungen und Kalibrierung von Vergleichsnormalen für DKD-Laboratorien im Bereich 2D-Strichteilungen

5.23 Winkelmesstechnik Dr. R. Probst

Darstellung der Winkelskala auf der Grundlage der Kreisteilung
Entwicklung von Normalmesseinrichtungen und Messverfahren zur Winkelkalibrierung
Kalibrieren von Winkelmaßverkörperungen und Winkelmessgeräten
DKD-Begutachtungen und Kalibrierung von Vergleichsnormalen für DKD-Laboratorien im Bereich Winkelmessgrößen

5.3 Fachbereich Koordinatenmesstechnik Dr. F. Wäldele

5.31 Geometrische Normale Dr. O. Jusko

Weiterentwicklung Messtechnik für Form und Lage sowie Länge
Entwicklung von Auswertesoftware für Form, Lage und Durchmesser bzw. Länge
Entwicklung und Rückführung komplexer Maßverkörperungen für dimensionelle Messungen

5.32 Koordinatenmesstechnik Dr. H. Schwenke

Verfahren zur Kalibrierung, Prüfung und Genauigkeitssteigerung von dreidimensional messenden Koordinatenmessgeräten unabhängig von ihrer Bauform und ihrem Arbeitsvolumen
Kalibrierung von Normalen für die Koordinatenmesstechnik
Prüfung von Auswertealgorithmen für die Koordinatenmesstechnik
Produktionsnahe Koordinatenmesstechnik

5.33 Verzahnung und Gewinde Dr. F. Härtig

Entwicklung von Verfahren zur Kalibrierung, Prüfung und Genauigkeitssteigerung von Verzahnungsmessgeräten
Prüfung und Zertifizieren von Verzahnungsalgorithmen
Kalibrierung von Verzahnungsnormalen
Entwicklung von Verzahnungsnormalen
Mitarbeit in nationalen und internationalen Normungsgremien
Mitwirkung beim Aufbau eines virtuellen Institutes

5.33

5.34 Optische Sensorik Dr. U. Neuschaefer-Rube

Prüfung und Genauigkeitssteigerung von optischen Sensoren für Koordinatenmessgeräte
Messung von Mikrogeometrien
Röntgen-Computertomographie für dimensionelle Messungen

5.35 Messtechnische Dienstleistungen Dipl.-Ing. J. Hirsch

Durchführung der messtechnischen Dienstleistungen, einschließlich deren organisatorischen Abwicklung, Durchführung des Prüfmittelmanagements
Bereitstellung,Pflege und Weiterentwicklung von Messmitteln
Überwachung der Messräume
Pflege und Weiterentwicklung des QM-Systems
Internet-Unterstützung und Web-Pflege
Abwicklung des Bestellwesens

5.4 Fachbereich Längenmaß- und -messmittel Dr. A. Abou-Zeid

5.41 Interferometrie an Maßverkörperungen Dr. A. Nicolaus

Entwicklung und Anwendung eines Kugelinterferometers zur Präzisionsbestimmung von Kugeldurchmesser und –topografie
Avogadro-Projekt
Aufbau, metrologische Untersuchung und Anwendung eines Planflächen-Fizeau-Interferometers mit gegenüberliegenden Ausgängen zur Volumenbestimmung würfelförmiger Dichtenormale

5.42 Diodenlaseranwendungen in der Längenmesstechnik Dr. A. Abou-Zeid

Diodenlaserinterferometrie für die Fertigungsmesstechnik
Kalibrierung von Strichmaßen und Entfernungsmessgeräten
Mehrwellenlängen-Diodenlaserinterferometrie für metrologische Anwendungen
Entwicklung und Optimierung eines brechzahlkompensierenden Interferometers

5.43 Kalibrierung von Endmaßen P. Franke

Kalibrierung von Parallelendmaßen
Begutachtung von DKD-Laboratorien für Parallelendmaße
Aufbau und Optimierung stabilisierter Laserlichtquellen,

5.44 Kaliberierung von Laserinterferometern G. Sparrer

Kalibrierung von Laserinterferometern, Wetterstationen und Luftrefraktometern
Entwicklung eines Mehrwellenlängen-Refraktometers

5.45 Zulassung von Längenmessmitteln Dr. M. Wolf

Prüfung und Zulassung zur Eichung von Strichmaßen sowie von Entfernungsmessgeräten
Prüfung und Zulassung zur Eichung von Längen-, Flächen- und Volumenmessmaschinen sowie Choirometern und deren Zusatzeinrichtungen
Begutachtung von DKD-Laboratorien für einfache Längenmessmittel, Mitarbeit bei DKD- und VDI-Gremien (Fachausschuss Länge und Messunsicherheit)
Pflege und Weiterentwicklung des QM-Systems des Fachbereichs

5.46 Thermische Ausdehnung stabiler Materialien Dr. R. Schödel

Entwicklung und Anwendung eines Präzisionsinterferometers zur Bestimmung von thermischen Ausdehnungskoeffizienten und Kompressibilität stabiler Materialien
Entwicklung und Optimierung von Komparatoren für Parallelendmaße

5.5 Fahbereich Wissenschaftlicher Gerätebau Prof. Dr.-Ing. F. Löffler

5.51 Arbeitsgruppe Konstruktion Dipl.-Ing. H. Lüllmann

Neukonstruktion hochpräziser und langzeitstabiler Messgeräte und Versuchseinrichtungen
Änderung und Erweiterung bestehender Konstruktionen
Beratung in werkstoffrelevanten und konstruktiven Fragen
Durchführung von Bauteilberechnungen sowohl analytisch als auch mit Hilfe der FEM-Methode
Führung einer Fachkatalog- und Prospektsammlung zur Bereitstellung technischer Informationen
Vorbereitung konstruktionsbegleitender Versuche
Aufbereitung der CAD-Konstruktionsdaten für einen CNC-Datenaustausch

5.52 Arbeitsgruppe Fertigung Dipl.-Ing. V. Jäger

Fertigung von Werkstücken höchster Genauigkeit aus den unterschiedlichsten Werkstoffen
Zusammenbau der Einzelteile zu Baugruppen sowie Funktionsprüfung und Endmontage in den Laboratorien
Beratung zur Fertigungstechnik und zur Beschaffung von Werkzeugmaschinen

5.53 Arbeitsgruppe Fertigungstechnologie Dipl.-Ing. V. Jäger

Entwicklung und Erprobung neuer Fertigungsstrategien auf den Gebieten Diamantdrehen, Ultrapräzisionsschleifen und Polieren u.a. von Silizium, Draht- und Senkerodieren
Herstellung von Normalen oder von Präzisionsteilen für Anwendungen in der Messtechnik

5.54 Arbeitsgruppe Elektronik Dipl.-Ing. R. Meeß

Entwicklung und Bau elektronischer Komponenten für Messgeräte und Versuchseinrichtungen, die im Fachbereich Wissenschaftlicher Gerätebau aufgebaut wurden und eine Steuerung, Messsignalverarbeitung oder Datenanalyse benötigen
Forschung und Entwicklung in den Bereichen Sensorik, Dünnschichttechnik und Laserbearbeitung für die Mikrotechnik

5.55 Arbeitsgruppe Ausbildung Prof. Dr.-Ing. F. Löffler

Ausbildung zu den Berufen: Feinwerkmechaniker mit den Schwerpunkten Maschinenbau und Feinmechanik, technische Zeichner mit dem Schwerpunkt Maschinen- und Anlagentechnik
Durchführung von Praktika von Studenten des Maschinenbaus

5.56 Arbeitsgruppe Mikroelemente Dipl.-Ing. R. Meeß

Entwicklung und Aufbau einer Einrichtung zur Montage von Mikrokomponenten
Entwicklung und Fertigung von Mikrokomponenten, u.a. Linearlager

5.57 Arbeitsgruppe Sensorentwicklung zur Untersuchung des Äquivalenzprinzips Prof. F. Löffler

Entwicklung und Fertigung neuartiger Sensoren