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Working Group 5.12

Hardness and Layer Thickness Measurement Technique


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Publications WG 5.12

2007   2006   2005   2004   2003 and before

2007
  • Gao, Sai; Herrmann, Konrad: Development of a multi-functional microforce actuator, Proceedings of the 7th international conference, European Society for Precision Enginerering and Nanotechnology, May 20th – May 24th 2007, Bremen, Germany, Vol.1 (2007), S. 290-293
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank; Gao, Sai: Development of a three-dimensional metrological imaging system to investigate interlayer deformation, Proceedings of the 7th international conference, European Society for Precision Enginerering and Nanotechnology, May 20th – May 24th 2007, Bremen, Germany, Vol.1 (2007, S. 321-324
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: Lateral scanning confocal microscopy for the determination of in-plane displacements of microelelctromechanical systems devices, Optics Letters (2007), S. 1743-1745
  • Chen, Qianli; Herrmann, Konrad; Menelao, Febo: Comparative study about the determination of the Young’s modulus of thin layers with the instrumented indentation test and the laser-acoustic measuring method[in chin. Schrift], China Measurement Technology (2007), S. 77-81
2006
  • Herrmann, Konrad: Recent development in hardness metrology, International Conference on Advances in Metrology : AdMET 2006, December 11 - 13, 2006 ; [proceedings]: (2006), [CD-ROM], 483 – 490
  • Herrmann, Konrad; Patkovszky, Imre: Neue Normen für mobile Härteprüfverfahren und die Kalibrierung dieser Geräte, Fortschritte der Kennwertermittlung für Forschung und Praxis : Tagung Werkstoffprüfung 2006: (2006), [CD-ROM], 145 – 150
  • Herrmann, Konrad; Patkovszky, Imre; Behrens, Bernd-Arno; Kammler, Matthias: Anwendung dynamischer Kräfte in der Werkstoffprüfung = Application of dynamic forces in materials testing, Technisches Messen: 73 (2006), 12, 646 – 654
  • Schwenk, Dieter; Herrmann, Konrad: Untersuchung der Bildanalyse zur Auswertung von Vickers-Härteeindrücken, Härteprüfung 2006 : Praxis, Trends und Innovationen ; Tagung Berlin, 20. und 21. November 2006 ; (VDI-Berichte: 1948): (2006), 141 – 151
  • Stibler, Anton; Herrmann, Konrad: Calibration of hardness testing instruments for elastomers and research work in recent years, Härteprüfung 2006 : Praxis, Trends und Innovationen ; Tagung Berlin, 20. und 21. November 2006 ; (VDI-Berichte: 1948): (2006), 85 – 99
  • Germak, Alessandro; Herrmann, Konrad; Dai, Gaoliang; LI; Zhi: Development of calibration methods for hardness indenters, Härteprüfung 2006 : Praxis, Trends und Innovationen ; Tagung Berlin, 20. und 21. November 2006 ; (VDI-Berichte: 1948): (2006), 13 – 26
  • Lucca, D. A.; Herrmann, Konrad; Klopfstein, M. J.; Menelao, Febo: Investigation of SiO2 thin films on Si substrates for use as standards for laser-acoustic measuring devices, International Journal of Materials Research: 97 (2006), 9, 1212 – 1215
  • Ellis, Robert; Knott, Andy; Herrmann, Konrad: Verification of image analysis systems from measuring Brindell indentations, IMEKO XVIII World Congress and IV Brazilian Congress of Metrology: (2006), [CD-ROM] file name: 00527.pdf, 4 S.
  • Strobel, Peter; Herrmann, Konrad: Very Low Rubber Hardness, Kautschuk, Gummi, Kunststoffe: 59 (2006), Juli/August, 377 – 381
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: An in-situ imaging system for the investigation of interlayer deformation during nanoindentation testing, Proceedings of the 6th international conference, European Society for Precision Engineering and Nanotechnology : May 28th - June 1st, 2006, Baden bei Wien, Vienna. Vol. 1: (2006), 394 – 397
  • Herrmann, Konrad; Li, Zhi; Pohlenz, Frank: New developments of the instrumented indentation test, 4th International Symposium on Instrumentation Science and Technology: Proceedings. Vol. 1: (2006), IV – IV, International Symposium on Instrumentation Science and Technology - ISIST 2006, Harbin, 08-12, August, 2006, China
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: A MEMS micro-tensile tester for characterising the mechanical properties of free-standing films [poster], 7th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 3rd Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods. Dimensional and related measurements in the micro- and nanometre range, Wabern bei Bern, 24-25, April, 2006, Switzerland
  • Herrmann, Konrad: Die Bestimmung der Unsicherheit von Härtemessungen, bezogen auf das Härteprüfverfahren, die Härteprüfmaschine und die Härtevergleichsplatte, PTB-Mitteilungen: 116 (2006), 2, 102 – 109
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: An optical differential probe for the measurement of MEMS topography, Optical micro- and nanometrology in microsystems technology ; (Proceedings of SPIE: 6188): (2006), D-1 - D-9
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: A comparative approach for calibration of the depth measuring system in a nanoindentation instrument, Measurement: 39 (2006), 6, 547 - 552
  • Apel, Hartmut; Herrmann, Konrad; Sabuga, Wladimir; Velfe, Hans-Dieter: PTB training courses for experts from COOMET member countries, OIML Bulletin: 47 (2006), 2, 49 – 51
  • Hoffmann, K.-P.; Ahbe, T.; Thomsen-Schmidt, P.: Rückführung von Schichtdickenmessungen, Galvanotechnik, 97 (2006) 11, S. 2654-2660
  • Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Stümpel, J.: Precise thickness determination of ultra thin films with X-ray reflectometry, Data evaluation and refinement EUSPEN 2006, 6th International conference, Vol.
  • Busch, I., Krumrey, M., Stümpel, J., Bettin, H., Kolbe, M., Beckhoff, B., Danzebrink, H.-U., Becker, P.: Oxide Layer Characterisation of a 28Si Sphere for the International Avogadro Project, Vortrag, CPEM 2006, Turin, 2006
2005
  • Herrmann, Konrad; Patkovszky, Imre: Fortschritte bei der Kalibrierung und der Berechnung der Messunsicherheit von Härteprüfmaschinen = Progress in calibration and uncertainty calculation of hardness testing machines, Tagungsband Werkstoffprüfung 2005 : Herausforderungen neuer Werkstoffe an die Forschung und Werkstoffprüfung; (DVM-Bericht: 641): (2005), 75 – 80
  • Herrmann, Konrad; Menelao, Febo: Determination of Young's modulus of ultrathin layers by nanoindentation and laseracoustic methods, Dynamic calibration and measurement , proceeding of CIMM-PTB Seminar 2005: (2005), 78 - 87
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank; Popadic, Radovan: Ein Differential-Interferometer mit konfokalem Positionssensor zum Messen kleinster Verschiebungen eines stark gekrümmten Prüflings = A differential interferometer with confocal position sensor for the measurement of very small displacements of an object with narrow curvature, Technisches Messen: 72 (2005), 10, 549 – 555
  • Herrmann, Konrad; Polzin, Thomas: Neue Richtlinien zur Ermittlung der Unsicherheit von Härtemessungen = New guidelines to the determination of the uncertainty of hardness measurements, Technisches Messen: 72 (2005), 5, 325 – 333
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: Development of a universal calibration device for the depth measuring system in a nanoindentation instrument, Proceedings of the 5th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, May 8th - May 11th 2001, Montpellier, France. Vol. 1: (2005), 93 – 96
  • Herrmann, Konrad: Guidelines for the evaluation of the uncertainty of hardness measurements, Focal theme: Hardness metrology ; in: MAPAN: 20 (2005), 1, 5 – 14
  • Busch, I.; Dai, G.;Stümpel, J.: Investigation of lateral structured interfaces with DXRS and SPM, Poster; Denver X-ray Conference, Colorado Springs 2005
  • Busch, I.; Krumrey, M.; Stümpel, J.: Influence of growth interruption on the formation of solid-state interfaces, Vortrag, Denver X-ray Conference, Colorado Springs 2005
  • Busch, I.; Dai, G.; Stümpel, J.: Investigation of lateral structured interfaces with DXRS and SPM, Advances in X-ray Analysis, vol. 49, 2005
  • Busch, I.; Dai, G.; Krumrey, M.; Stümpel, J.: Comparison of DXRS- and SPM-Analysis on Structured Interfaces Poster, Bessy User Meeting, Berlin 2005
2004
  • Herrmann, Konrad [speaker]; Li, Zhi; Pohlenz, Frank; Menelao, Febo: Development of calibration methods for nanoindentation instruments, Gastvortrag, Hsinchu, 13, August, 2004, Taiwan
  • Herrmann, Konrad [speaker]; Li, Zhi; Pohlenz, Frank; Menelao, Febo: Investigations on the establishment of traceability for the nanoindentation method, 5th European Symposium on Nano-Mechanical Testing, Hückelhoven, 7-9, September, 2004, Deutschland
  • Stibler, Anton [speaker]; Herrmann, Konrad: Long-term stability of rubber hardness reference blocks, HARDMEKO 2004 : hardness measurements theory and application in laboratories and industries ; November 11 - 12, 2004, Washington, D.C., US: (2004), [CD-ROM] file name: Hardmeko04.pdf, 143 – 148
  • Herrmann, Konrad; Bahng, G. W.; Borovsky, J.; Brice, L.; Germak, A.; He, L.; Hattori, K.; Low, S.; Machado, R.; Osinska-Karczmarek, A.: CCM vickers key comparison - state of the art and perspectives, HARDMEKO 2004 : hardness measurements theory and application in laboratories and industries ; November 11 - 12, 2004, Washington, D.C., US: (2004), [CD-ROM] file name: Hardmeko04.pdf, 86 – 93
  • Herrmann, Konrad: Fortschritte bei der Bestimmung der Messunsicherheit von Härtemessungen, Tagungsband Werkstoffprüfung : Konstruktion, Qualitätssicherung und Schadensanalyse: (2004), 123 – 128
  • Herrmann, Konrad; Polzin, Thomas: Bewertung der Messunsicherheit in der Härteprüfung - Stand der Normung, Praktische Durchführung mittels EDV, Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen : Tagung Oberhof/Thüringen, 30. November und 1. Dezember 2004 ; (VDI-Berichte: 1867): (2004), 131 – 140
  • Herrmann, Konrad; Gafanovic, G. Ja.; Kostrikov, A. L.; Popova, E. G.: Novyj metod ocenki geometriceskich parametrov indentorov dlja izmerenija tverdosti tonkich pokrytij i plenok = Ein neues Verfahren zur Bewertung der geometrischen Parameter von Eindringkörpern zur Messung der Härte von dünnen Schichten in Filmen, Metrologija ta vimirjuval'na technika (Metrologija-2004) : naukovi praci konferencii u 2-ch tomach. Tom 2: (2004), 103 – 106
  • Herrmann, Konrad; Li, Zhi; Pohlenz, Frank; Menelao, Febo: Bestimmung mechanischer Eigenschaften von Nanostrukturen, PTB-Mitteilungen: 114 (2004), 1, 44 – 50
  • Herrmann, Konrad [speaker]; Menelao, Febo: Application fields and metrological perspectives of the laseracoustic measurement method, Gastvortrag, Hsinchu, 11, Hsinchu, 2004, Taiwan
  • Herrmann, Konrad: Development tendencies of hardness metrology, Proceedings of the Third International Symposium on Instrumentation Science and Technology. Vol. 1: (2004), 1-0008 - 1-0016 [print ed.]; [CD-ROM] file name: data\1-0008.pdf
  • Dai, Gaoliang; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank: Development of calibration methods for spherical indenters used in the nanoindentation test, Proceedings of the 4th euspen International Conference : May 31st - June 2nd 2004, Glasgow, Scotland, UK: (2004), 316 – 317
  • Li, Zhi; Herrmann, Konrad; Pohlenz, Frank; Menelao, Febo: Development of a virtual standard for nanoindentation instruments, Proceedings of the 4th euspen International Conference : May 31st - June 2nd 2004, Glasgow, Scotland, UK: (2004), 356 – 357
  • Herrmann, Konrad: Die Ermittlung der Messunsicherheit hält Einzug in die Normung, Messunsicherheit und neue Verfahren der Härteprüfung,Tagungsband der DIN-Tagung: (2004), 25 – 37
  • Hoffmann, K.-P.; Ahbe, T.; Menelao, F.: Ionenstrahltechnik zur Präparation von Querschnittflächen für Schichtdickenmessungen Sonderbände der Praktischen Metallographie, 35 (2004), S. 313-318
  • Thomsen-Schmidt, P.; Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Hirsch, D.; Procop, M.; Beck, U.: Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm, Appl. Phys. A 78, 645-649 (2004)
  • Krumrey, M.; Hoffmann, M.; Ulm, G.; Hasche, K.; Thomsen-Schmidt, P.: Thickness determination for SiO2 films on Si by X-ray reflektometry at the K edge, Thin Solid Films 459 (2004) 241-244
  • Busch, I.: Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie, Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2004
  • Busch, I.: Diffuse Röntgenstreuung: Nanometrologie an rauen Grenzflächen, Bruker AXS Anwendertreffen, 3.-5. November 2004, Potsdam
  • Thomsen-Schmidt, P.; Pohlenz, F.; Ulm, G.; Krumrey, M.; Hasche, K.: Consistent standards for nanometrology or Stepp height versus film thickness measurement, Proceedings XI. International Colloquium on Surfaces, Chemnitz 2004, p 108-116
  • Busch, I.; Krumrey, M.; Stümpel, J.: Investigation of the morphology of solid-state interfaces by diffuse X-ray scattering, BESSY Jahresbericht 2004
2003 und davor
  • Ahbe, T.; Haft, N.; Hasche, K.; Hoffmann, K.-P.: Geometrical Measurements on Film Structures Using a Scanning Electron Microscope, MICRO SYSTEM Technologies 98, 6th Intern. Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, 1.-3. Dec. 1998, S. 627-629
  • Hoffmann, K.-P.: Schichtdickenbestimmung durch profilometrisches Messen in Verbindung mit örtlich begrenzter Schichtablösung Galvanotechnik, 91 (2000) 1, S. 82-87
  • Hoffmann, K.-P.: Kompressionseinfluss bei Schichtdickenmessungen mit berührenden Sonden, Galvanotechnik, 93 (2002) 8, S. 2007-2008
  • Hoffmann, K.-P.; Ahbe, T.; Herrmann, K.; Hasche, K.; Pohlenz, F.; Sun, J.: Development and Calibration of Standards for the Coating Thickness in the Range of Micrometer and Nanometer, Surface & Coatings Technology, Vol. 169-170 (2003), 2 June 2003, 731-734
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