Forschung und Entwicklung im Bereich nichtinvasiver, analytischer Messverfahren für Mikrotechnologien (Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Biotechnologie).

Ziel: Ortsaufgelöste Kenntnisse physikalischer und chemischer Eigenschaften bis in den submikroskopischen Bereich mit Hilfe optisch-spektrometrischer Methoden (Photolumineszenz-, Raman- und Infrarotspektrometrie).

Aufgaben

• Mikrostrukturanalytik neuer Werkstoffe
• Neue ortsaufgelöste analytische Meßverfahren

Kontakt

Ansprechpartner

Dr. Rainer Stosch Tel.: 0531-592-3122 E-Mail: Rainer.Stosch@ptb.de