Makroskopische Quanten-Objekte

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Herstellung von metallischen
Strukturen mit sub-µm-
Abmessungen

Metallische Schaltkreise mit Tunnelkontakten im sub-µm Maßstab werden mittels elektronenstrahllithographischer Methoden in unserem Reinraumzentrum hergestellt.

Die wichtigsten Methoden für die Herstellung von Bauelementen, die Einzelladungseffekte zeigen (Single Electron Tunneling), sind:

• Schrägbedampfungstechniken mit Schattenmasken.
  
  
  • Standard-Schrägbedampfung
  • Vier-Winkel Schrägbedampfung zur Erzeugung sehr kleiner Inseln
  • Schrägbedampfung für hochschmelzende Materialien wie Niob
    

 

• TEM-Direktschreiben  

 

• Nb Trilayer-Technik mit Spin-on-Glass oder CMP Planarisierung