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Quantenelektronik


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- Elektronenstrahl-Lithographie
- Beschichtungsanlagen
- Ätzanlagen


Herstellungstechnologie

Optische Lithographie

Für die optische Belichtung von Photolack wird ein Kontaktbelichter eingesetzt:


Kontaktbelichter

Mit einem Maskenjustier- und Belichtungsgerät wird eine
Cr-Maske zunächst zur Probe justiert, dann die Maske in
Kontakt zur Photolackschicht gebracht und anschließend das
Muster der Maske mit UV-Licht auf die Lackschicht der Probe übertragen.
 


© Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Erstellt am: 02. April 2004, letzte Änderung: 28. Juni 2007,
Ralf Dolata