Ein Fall für Mathematiker
Lässt sich die Schuld eines Angeklagten nicht direkt nachweisen, dann können Indizien helfen. Ähnlich indirekt müssen auch Experten fürs genaue Messen immer häufiger vorgehen: Lässt sich eine Messgröße nicht direkt messen, dann muss man andere Größen messen und mit Hilfe intelligenter Computerprogramme auf die eigentlich interessierende Größe rückschließen. Genauso sind Wissenschaftler der PTB zusammen mit Partnern in einem Verbundprojekt des Bundesforschungsministeriums (BMBF) vorgegangen. Es geht um die Messung von immer kleineren Computerbauteile und anderen industriellen Strukturen, die nur noch nanometergroß sind und sich daher nicht mehr mit der klassischen Methode der Lichtmikroskopie untersuchen lassen. Eine neue Methode, solche Strukturen zu untersuchen, ist die Scatterometrie. Dabei wird an periodischen Nanostrukturen Licht gestreut und aus den Eigenschaften des gestreuten Lichtes auf die Abmessungen der Probe geschlossen. Die Projektpartner haben nun ein mathematisches Modell und ein sogenanntes inverses Verfahren entwickelt, die solche Messungen mit großer Genauigkeit ermöglichen. mehr...