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Schlüsseleinrichtungen des Technologietransfers
Nanometerkomparator
Mit dem Nanometerkomparator der PTB können Längennormale bis 0,6 m mit Nanometerpräzision gemessen werden.
Die PTB verfügt über einen Komparator zur Messung von Längen bis 610 mm mit einer erreichbaren Messunsicherheit < 5 nm. Mit diesem Vakuum-Längenkomparator kann der hochgenaue Anschluss an die Längeneinheit Meter realisiert werden und es können grundlegende Untersuchungen an präzisen Längenmesssystemen durchgeführt werden. Derart geringe Messunsicherheiten sind z.B. bei der Kalibrierung von inkrementalen Längenmesssystemen, qualitativ hochwertigen Strichmaßstäben oder bei den zur Halbleiterherstellung verwendeten Masken gefordert.
Ansprechpartner:
Dr. Jens Flügge
Tel.: +49 531 592 5200
E-Mail: jens.fluegge@ptb.de
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-05-10,
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